广东晶圆片隔振台

使用说明书

解锁系统后，将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。

调整负载补偿:

将负载放在**上面，并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。

沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿

按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板！

更改负载后，检查每个角是否自由移动！

将电源插头连接到背面的输入电源插座。

按下背面的电源按钮打开设备“ POWER” LED将点亮，而“ ACTIVE” LED开始闪烁。

大约30秒钟后，“活动” LED将保持点亮状态，并且系统现在可以使用了。

您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。

主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。广东晶圆片隔振台

AVI单元和传感器的方向

隔离单元和LFS传感器必须正确安装，这一点很重要取向！LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允许其他方向。

为确保连接正确，请按照下列步骤操作：

面向LFS传感器的蓝色LED站立。 将***个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。

所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。

晶圆片隔振台推荐厂家Table Stable Ltd：主动隔振以及高 分辨率，高对比度光谱学的全球***。

隔振台TS-140+40的技术指标：

频率负载范围尺寸:0,7-1000Hz 50-180公斤500x600x84毫米

隔离：动态（超过1kHz）

传递率：参见附件曲线10Hz以上的透射率<（-40dB）

矫正力：垂直+/-8N水平+/-4N

静态合规性：垂直约12µm/N水平30-40µm/N

最大负载：50-180公斤尺寸：500x600x84毫米

重量：在公制（M6x25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。

如果您有任何需要了解的，请随时联系我们岱美仪器技术服务有限公司。记得访问官网。

传感器位置

传感器可以移动到任何期望的位置。 它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后连接时，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。

支撑面的刚性

支撑表面的刚性很重要。 水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。 LFS和因此，AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬，以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。 倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。

运作方式

设置好并将电源连接到传感器后，就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。 绿色LED将点亮。 红色LED开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在，您可以通过按启用按钮来启用系统。 红色LED不应点亮了。 如果它们点亮，则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。

请注意，如果未启用LFS，则它将无效。

敏感的传感器单元，请勿撞击，敲打或跌落！

AVI400-S

AVI 400-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型模块的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。

AVI 400-S的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 400-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 400-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 400-S紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。

技术指标：

频率： 1,2-200 Hz

负载范围： 0-800公斤

（单个）： 400公斤 AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，比较大负载为800公斤。山东隔振台代理商

Table Stable通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。广东晶圆片隔振台

TS-300

TS系列产品中比较大的系列，比TS-140 / TS-150更大。

在公制（M6 x 25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。

 频率

 负载范围TS-300

 负载范围TS-300LT

 尺寸图 

 0,7-1000赫兹

 0-300公斤

 0-120公斤

 600

 x 800 x 120毫米

TS-300结合了久经考验的技术***性和优雅且用户友好的设计

TS-300的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40dB

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭” 广东晶圆片隔振台