AVI-400XLP隔振台大型半导体设备防震台应用

传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座（诊断插座）连接到传感器设置并将电源连接到传感器后，系统即可使用。按下电源上的电源旋钮，打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了，那意味着系统超载，建筑物内的振动太严重。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。AVI-400XLP隔振台大型半导体设备防震台应用

TableStable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有独力的防振单元和控制器。可能有多种变化，例如将其用作电子显微镜（SEM）的隔振台，或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。特点：・通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。・安装时不需要参数调整，安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧，因此不需要空气弹簧。・振动状态一目了然。（可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。）-加速度信号可以从外部输出。（通过将BNC连接器连接到示波器，可以看到活动对象正在正常工作。TableStable隔振台激光设备主动防震应用测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持蕞佳的隔振状态。

AVI-400系列（负载：蕞多800kg）型号：AVI-400SLP，AVI-400MLP，AVI-400XLP系统形状：控制器与防振单元分离型主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接，前面的8个LED指示防振状态尺寸：190×396×190×720×220×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重*800kg单位重量：约13kg；约19公斤，联络我们电源电压：95-240VAC，50-60赫兹耗电量：通常为18W工作温度范围：5℃〜40℃工作湿度范围10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。

   AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI400-XL的隔离始于1,2Hz，超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-XL紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。技术指标：频率：：0-800公斤（单个）：400公斤。传感器可以移动到任何所需位置。

   传感器位置传感器可以移动到任何期望的位置。它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元素的同一表面上。制作后连接时，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。支撑面的刚性支撑表面的刚性很重要。水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。LFS和因此，AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬，以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。运作方式设置好并将电源连接到传感器后，就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。绿色LED将点亮。红色LED开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在，您可以通过按启用按钮来启用系统。红色LED不应点亮了。如果它们点亮，则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。请注意，如果未启用LFS，则它将无效。敏感的传感器单元，请勿撞击，敲打或跌落！AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。被动隔振台干扰仪防震台应用

安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。AVI-400XLP隔振台大型半导体设备防震台应用

将手轻轻放在桌面上。上方区块中的一个或多个LED可能会亮起，指示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果你现在在桌面上施加很大的力，所有过载灯都会亮起，并且隔离指示灯将闪烁几秒钟，表明系统暂时不再隔离，直到过载消除（待机模式）。消除过载后，隔离灯应再次亮起，系统开始隔离。某些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段系统正在隔离-但增益降低。严重过载后，系统可能需要半个小时分钟即可达到完全隔离，但通常只需要几秒钟。注意：在正常使用中，隔离开关可能会保持在ON位置（黑色旋钮在里面）。上接通电源后，黄色指示灯将首先闪烁，表明系统处于待机状态模式。大约30秒钟后，指示灯停止闪烁并保持点亮状态，表明系统处于隔离。AVI-400XLP隔振台大型半导体设备防震台应用