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日本隔振台干涉测量应用

来源: 发布时间:2023年08月05日

   AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI400-XL的隔离始于1,2Hz,超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-XL紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。技术指标:频率::0-800公斤(单个):400公斤。必须改善测量环境,以发挥仪器的极大效能,达到ZUI佳成果。日本隔振台干涉测量应用

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AVI600-MAVI600-M的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI600-M的隔离始于1,2Hz,超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI600-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI600-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI600-M紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备(例如SEM)时进行任何复杂的操作。技术指标:频率:1.2-200Hz负载范围:0-1200公斤(单件):600公斤主动隔振频率隔振台推荐厂家先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。

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5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下,使模块从一侧到另一侧(而不是从前到后)横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧,不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40,则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝内,相互朝向。如果您安装的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40,则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝外,彼此远离。6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板,前后各27.5英寸,两侧各27英寸,在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时,确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。7、系统就位后,使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜,直到其落在安装板上。抬起水平尺,直到它们向上并离开。

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI400-M的隔离始于1,2Hz,超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。技术指标:频率:1.2-200Hz负载范围:0-800公斤(单件):400公斤Table Stable通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。

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AVI-400系列(负载:蕞多800kg)型号:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP系统形状:控制器与防振单元分离型主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态尺寸:190×396×190×720×220×856×控制器尺寸:241×287×142毫米承重*800kg单位重量:约13kg;约19公斤,联络我们电源电压:95-240VAC,50-60赫兹耗电量:通常为18W工作温度范围:5℃〜40℃工作湿度范围10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。青海隔振台

简单,用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。日本隔振台干涉测量应用

地板上没有AVI产品加速度的数据。(图中横坐标为频率,纵坐标为加速度)加上AVI产品开启隔振功能后,加速度的数据。(图中横坐标为频率,纵坐标为加速度)HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低频感应器LFS-3性能LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz.感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。谢谢!日本隔振台干涉测量应用

岱美仪器技术服务(上海)有限公司目前已成为一家集产品研发、生产、销售相结合的贸易型企业。公司成立于2002-02-07,自成立以来一直秉承自我研发与技术引进相结合的科技发展战略。公司主要经营半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等,我们始终坚持以可靠的产品质量,良好的服务理念,优惠的服务价格诚信和让利于客户,坚持用自己的服务去打动客户。依托成熟的产品资源和渠道资源,向全国生产、销售半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪产品,经过多年的沉淀和发展已经形成了科学的管理制度、丰富的产品类型。岱美仪器技术服务(上海)有限公司以先进工艺为基础、以产品质量为根本、以技术创新为动力,开发并推出多项具有竞争力的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪产品,确保了在半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪市场的优势。