主动隔振频率隔振台时频系统防震台应用

1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。2.将电源线插入控制器背面。翻转前面板上的“ON”开关。按红色按钮启用活动隔离。3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。主动隔振频率隔振台时频系统防震台应用

LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中，以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离（可传输性），其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP进行测量，增益设置为128（V）和150（H）。输入电压：115/230VAC，50-60Hz功耗：蕞大20瓦频率范围：0.2-20Hz尺寸传感器：255x245x107mm（长x宽x高）电源尺寸：265x155x73mm（长x宽x高）重量传感器：5.9kg供电重量：1.6kg应用：室内防护等级：IP20温度范围：5°C-40°C相对湿度：10–90%（5–30°C）隔震台隔振台原理先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。

   TS-CTS-C系列是紧凑的动态防振系统，可隔离所有六个平移和旋转振动模式。这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比蕞大，蕞昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如，这意味着即使通过操作员的手施加了力，由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。

传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座（诊断插座）连接到传感器设置并将电源连接到传感器后，系统即可使用。按下电源上的电源旋钮，打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了，那意味着系统超载，建筑物内的振动太严重。从低频率起提高一个隔振环境。

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI400-M的隔离始于1,2Hz，超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。技术指标：频率：1.2-200Hz负载范围：0-800公斤（单件）：400公斤AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。德国隔振台电子显微镜ATM

LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。主动隔振频率隔振台时频系统防震台应用

所有控制电路都内置在该单元钟功耗小于2.5W。该设备具有通用输入，可以连接到100至240VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜（AFM，STM），干涉仪和其他高分辨率仪器，从而使这些仪器能够达到蕞终的性能。事实证明，该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。技术指标：频率：1.2-300赫兹负载范围：0-40公斤尺寸图300x300x70毫米（长x宽x高）11.8x11.8x2.75英寸隔离：动态1.2Hz至300Hz，主要在较高频率下为无源透射率：高于〜10Hz的透射率<0.01（-40dB）矫正力：垂直±8N，水平±4N静态合规性：27µm/N最大负载（中心负载）：40公斤88.18磅重量：9.2公斤20.3磅主动隔振频率隔振台时频系统防震台应用

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