晶圆片隔振台摩擦学应用

1、使用2mm内六角扳手（包括在内）拆下模块端板。2、根据扫描电镜的重量调整模块。在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙，允许每侧大约有2mm的行程。B、使用M6活动扳手（包括）转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙（在中间止动螺母和横撑之间）。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。C、计算每个螺母的圈数；尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。D、不要转动螺母太远，否则可能损坏系统。在任何情况下，外露螺纹不得超过10mm3.装回模块上的端板简单，用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。晶圆片隔振台摩擦学应用

AVI-600系列（负载：1200kg）型号：AVI-600SLP，AVI-600MLP，AVI-600XLP形状：控制器与防振单元分离型主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接，前面的8个LED指示防振状态单位尺寸：288×396×288×720×318×856×控制器尺寸；448x286x143毫米承重：1200kg（相等）单位重量：约20kg，约26kg，联络我们电源电压：95-240VAC，50-60赫兹耗电量：正常27W工作温度范围：5℃〜40℃工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询。选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询联电隔振台推荐产品AVI 200-XL系统固有的刚性使得其有出色的方向性和位置稳定性。

AVI-600/LP的每个单元均可调节，以适应0至600kg的负载。对于任何设置由两个单元组成的系统上的负载，可在+/-90kg之间变化，而不必重设调整。手次操作系统时，请将前面板隔离开关设置为OFF（黑色旋出）。接通电源。电源指示灯现在将点亮，并且24个显示LED将短暂闪烁。黄色的使能LED将以大约2Hz的频率闪烁。如果剧烈震动存在或如果您将手放在桌面上，则某些或所有LED将闪烁。接通电源约30秒后，您可以将隔离开关推到ON位置（红色旋钮进入）。黄色LED现在将勇久保持亮起，表明系统处于隔离。

AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括两个单独的承载模块和一个控制单元，蕞大可承载400公斤重量。通过增加隔振模块的数量，可以轻松承受更大的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个元件。AVI200-XL的隔离始于1,2Hz，然后迅速增加至超过10Hz的35dB减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。控制中心有超载指示灯。

关键词：主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振动传递率横坐标为频率，纵坐标为传递率的数据，在10hz频率以上时，传递率的数据小于0.02，很好地起到了隔振作用。AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据（实验室实验数据）垂直方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，蕞大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。四川联电隔振台

AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。晶圆片隔振台摩擦学应用

1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。2.将电源线插入控制器背面。翻转前面板上的“ON”开关。按红色按钮启用活动隔离。3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。晶圆片隔振台摩擦学应用

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