半导体晶圆镀膜机是面向半导体工艺定制开发的镀膜机,专门针对硅晶圆基片镀膜,适配 2 英寸、4 英寸、6 英寸、8 英寸晶圆规格。设...
升华仪工艺曲线自定义功能,支持操作人员编制分段式工艺程序,设置预抽真空、脱气恒温、阶梯升温、保温驻留、受控降温多个工序段。预脱气阶...
镀膜机基片加热系统通过辐射加热或者电阻加热方式,提升基片在镀膜过程中的温度。升高基片温度,能够提高沉积到表面原子迁移能力,降低薄膜...
镀膜机靶材刻蚀均匀性会直接影响长期生产稳定性,磁控溅射靶材在等离子持续轰击下,靶面会形成弧形刻蚀沟槽。靶材刻蚀沟槽分布不均匀时,溅...
镀膜机样品台系统承担装载基片、调控基片运动与温度的功能,不同镀膜机匹配不同结构样品台。行星式公自转样品台多用于光学镀膜机,基片夹具...
升华仪的石英管作为腔体部件,选用高纯熔融石英原材料烧制而成,耐高温、析出物少、化学性质稳定。石英材质不会和各类有机光电分子发生化学...
国产镀膜机近些年技术迭代速度明细加快,逐步打破海外品牌在光学镀膜、半导体溅射设备领域的垄断局面。早期国产镀膜机主要集中在装饰镀、普...
刀具硬质涂层镀膜机属于工业镀膜机品类,主要用于切削刀具、冲压模具表面沉积 TiN、TiCN、AlTiN 等硬质陶瓷涂层。采用阴极电...
浙江赛威科光电科技有限公司(品牌:SVAC),是深耕真空镀膜装备领域的国家级高新技术企业,集真空设备研发、设计、生产与技术服务于一体,面向科研与产业客户提供一站式真空系统完整解决方案。公司 2020 年落地浙江省德清县雷甸镇,拥有 2000㎡自有生产厂房,配套800㎡万级洁净车间,可开展镀膜工艺验证、新材料工艺开发、OLED 有机材料提纯等工艺测试服务。作为杭州赛威斯真空技术有限公司全资子公司,传...
查看更多