薄膜沉积设备用于在晶圆表面生长绝缘、导电薄膜,配套零部件覆盖六大主流品类,腔体内部使用石英喷淋头、硅电极、陶瓷承载盘,外部搭配气体流量计、高纯阀门、射频匹配器、真空机组。工艺过程中,特种工艺气体通过喷...
珠三角以深圳、广州为主要形成半导体零部件配套集群,产业侧重封装测试设备、消费电子芯片配套小型零部件。区域厂商多生产微型密封件、小型气体过滤器、轻量化陶瓷传送配件、微型射频绝缘组件,适配手机、平板、可穿...
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