安全性设计渗透于系统的每一个细节。除了双套管，管道阀门均采用隔膜阀或超高密封性阀件，接头为焊接或特殊金属面密封。所有可能接触气体的...

在集成电路芯片制造中，大宗特气系统的复杂性与代表性尤为突出。由于制程节点不断微缩，工艺步骤繁多，所需气体种类涵盖氮气、氢气、氧气、...

尾气处理系统： 半导体工艺废气处理方式依据废气处理的特性,在处理可分为四种处理方式:1、水洗式(处理腐蚀性气体)2、氧化...

实验室气体报警:一个现代化的实验室，安全必须放在优先位置。由于气瓶全部是集中存放，方便用户集中检查，节省成本和操作时间的同时，也当...

工业气体按组份可分为单一品种气体的工业纯气和二元或多元气体的工业混合气。国家标准《瓶装压缩气体分类》(GB16163-1996)中...