上海杰瑞斯特机电工程技术有限公司
在半导体工艺中,电子特气系统的可靠性关系到工艺质量与操作人员的安全。上海杰瑞斯特构建的此系统,主要围绕特种气体的储存、输送与分配环...
实验室气路系统集成低压预警功能,气瓶内部气体储量偏低时,传感元件反馈信号,提醒工作人员及时更换气源。预警装置采用单独供电模式,断电...
电子特气系统适配半导体刻蚀、薄膜沉积、离子注入等精密工序,气体输出流量稳定,气流波动幅度微弱,不会干扰工艺加工精度。终端分配阀体微...
工业集中供气系统可适配多元化工业生产场景,能够为机械加工、热处理、焊接制造等行业输送通用工业气体。系统搭载的稳压构件可缓冲用气高峰...
大宗特气系统在生产厂区中承担着持续性气体输送任务,整套设备依托标准化集成结构搭建,涵盖气源存储、压力调控、管路传输、安全监测等多个...