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微光显微镜仪器致晟光电 RTTLIT E20 微光显微分析系统（EMMI）是一款专为半导体器件漏电缺陷检测量身打造的高精度检测设备。该系统搭载先进的 - 80℃制冷型 InGaAs 探测器与高分辨率显微物镜，凭借超高检测灵敏度，可捕捉器件在微弱漏电流信号下产生的极微弱微光。通过超高灵敏度成像技术，设备能快速定位漏电缺陷并开展深度分析，为工程师优化生产工艺、提升产品可靠性提供关键支持，进而为半导体器件的质量控制与失效分析环节提供安全可靠的解决方案。当金属层遮挡导致 OBIRCH 等无法侦测故障时，微光显微镜可进行补充检测。微光显微镜仪器 我司专注于微弱信号处理技术的深度开发与场景化应用，凭借深厚的技术积累，...
发布时间：2025.07.15