在电子洁净室等对静电敏感的环境中,高效送风口的抗静电性能直接影响洁净效果。送风口壳体和散流板采用表面电阻率≤10^9Ω 的抗静电材料,如阳极氧化铝合金或导电粉末喷涂不锈钢,有效释放设备表面积累的静电电荷,避免静电吸附 0.1 微米以下的颗粒污染物。过滤器边框使用导电密封胶条,确保与静压箱的等电位连接,防止缝隙处产生静电放电。此外,送风口安装时需进行接地处理,接地电阻不大于 4Ω,通过接地导线将静电导入大地。抗静电设计配合垂直单向流气流组织,使带电颗粒在高速气流中难以滞留,进一步提升洁净室的洁净度稳定性。对于半导体晶圆制造车间,这种抗静电措施可将因静电吸附导致的芯片缺陷率降低 60% 以上,保障...