在一些需要快速建立真空环境的场合,如真空镀膜、真空干燥等领域,多头螺杆转子的螺杆真空泵能够更快地满足生产工艺对真空度和抽气速度的要求。虽然多头螺杆转子能够提高抽气速度,但在气体压缩比方面,单头螺杆转子...
热变形补偿设计,齿轮材料(如20CrMnTi)与转子材料(42CrMo)的线膨胀系数接近(11~12×10⁻⁶/℃),减少温差变形差;强制油冷:通过油泵将润滑油以0.5~1MPa压力注入齿轮啮合区,带...
螺杆转子间的间隙合理与否直接关系到转子、轴承、同步齿轮等零部件的使用寿命。当间隙过小时,转子之间的摩擦加剧,会加速转子表面的磨损,同时还会对轴承和同步齿轮产生较大的附加载荷,导致这些零部件的磨损和损坏...
在含粉尘的工艺中,除尘器的性能直接影响机组稳定性。某水泥厂采用高效布袋除尘器,将粉尘排放浓度从50 mg/m³降至10 mg/m³以下,同时保护了真空泵免受磨损。油增压泵是一种通过油膜密封实现气体压缩...
变频调速:根据真空度需求动态调节转速(如1000~4000r/min),在高真空阶段降低转速以减小反流,极限真空度可提升30%;多级泵串联:前级螺杆泵(极限真空10⁻¹Pa)与次级罗茨泵组合,形成复合...
在螺杆真空泵的排气管道上安装消音器,消音器可以根据气体的流量、压力和噪音频率等参数进行选择。常见的消音器类型有阻性消音器、抗性消音器和阻抗复合式消音器。阻性消音器主要通过吸声材料吸收噪音,适用于中高频...
双级罗茨真空泵是把两个单级泵串联起来工作的,这样可获得较高的极限真空。罗茨真空泵的两转子之间和转子与泵壳之间均保持一定的间隙,因而工作腔内没有摩擦,也无需润滑油,所以运转平稳,噪音低,工作介质不含油。...
电网的短路容量、线路阻抗等自身条件也会影响往复真空泵启动时对电网的冲击程度。短路容量反映了电网的供电能力和抗干扰能力,短路容量越大,电网承受大电流冲击的能力越强,启动时引起的电压波动相对较小。反之,若...
作为工作介质的水,其质量直接影响水环真空泵的性能和寿命。因此,必须定期对水质进行检测和处理,确保水质清洁无杂质,以减少对泵体的磨损和腐蚀。水环真空泵启动后,需要从泵上的冷却管(通常安装在泵体侧面的螺丝...
提升极限真空度需减小转子间隙,但会导致抽速下降。处理NF₃、SO₂等强腐蚀性气体时,即使有涂层防护,转子表面仍可能出现局部腐蚀。某面板厂的螺杆泵在处理CF₄气体6个月后,转子涂层出现剥落,极限真空度从...
不同类型、不同规格的往复真空泵,在理想工况和规范使用维护条件下,具有不同的理论使用寿命预期。一般来说,质量可靠的常规型往复真空泵,其设计使用寿命在8-15年左右。然而在实际生产中,受各种复杂因素影响,...
水环真空泵在维护方面相对简单且成本较低。由于其结构简单且没有复杂的内部部件,因此维修起来更加容易。此外,水环真空泵还具有较高的可靠性,能够在恶劣的工况下稳定运行。这使得水环真空泵在一些对设备可靠性要求...
水环真空泵在工作过程中需要保持一定的密封性能,以确保气体不会从泵体泄漏出去。如果在使用过程中发现泄漏问题严重,例如泵体密封处出现大量气泡或液体泄漏,这可能是密封件老化、损坏或安装不当等原因导致的。泄漏...
检查电缆、插头及接线盒等电气部件是否完好,没有破损或裸露的电线。定期清理泵体表面的灰尘和污垢,保持泵体的清洁。清洁散热片,确保散热效果良好,防止过热。检查润滑油的油位,确保在规定的范围内。润滑油应定期...
安装与维护,罗茨真空泵的安装与维护也是选择过程中需要考虑的因素。所选泵型应便于安装、调试和维护,以降低安装成本和提高设备的可靠性。此外,还应考虑设备的售后服务和配件供应情况,以确保设备的长期稳定运行。...
罗茨真空泵的结构简单,制造方便,运转平稳,工作可靠,维护方便,已被广泛应用在冶金、石油化工、造纸、食品、电子、医药、化纤、塑料橡胶、电力、建材、真空干燥、真空脱气等各个领域。罗茨真空泵是一种旋转式变容...
正常轴承温度不得比环境温度高出35℃,但工作温度不得超过70℃。如果温度超高,应立即停车检查原因,以避免轴承损坏或引发其他故障。在生产过程中,必须实时监控真空度的变化,确保其在允许范围内波动。一旦发现...
同时,多级串联的结构也增加了泵的可靠性,使得泵在长时间运行过程中能够保持稳定性能。适应性强:多级罗茨真空泵对气体的种类和含尘量具有较好的适应性,可以抽吸含有一定量粉尘或可凝性蒸气的气体。此外,多级罗茨...
在分子流状态下,螺杆泵的抽速主要取决于转子转速、齿形设计及入口导叶结构。抗腐蚀与耐颗粒设计的适应性,高真空工艺中,腐蚀性气体(如半导体刻蚀产生的Cl₂、BCl₃)和颗粒(如溅射过程中产生的金属微粒)是...
若阀门密封不严,部分气体在压缩过程中回流,会导致抽气速率下降。泵腔形状与内部流道设计:泵腔的形状会影响气体在腔内的流动阻力,合理的形状设计可使气体流动更顺畅,降低压力损失,提高抽气速率。内部流道的布局...
一般来说,此类工艺要求抽气速率在800-1500m³/h以上,以确保能够迅速抽除工艺过程中产生的微量气体和杂质,保证芯片制造的精度和质量。在真空镀膜工艺中,根据镀膜材料和工艺要求的不同,抽气速率需求在...
当泵轴带动叶轮旋转时,泵内的工作液(通常是水或软水)在离心力的作用下被甩向四周,形成一个近似等厚度的封闭圆环。随着叶轮的持续旋转,工作液在泵壳内形成旋转运动,其内部的容积不断发生变化。这种容积变化导致...
建立完善的设备维护保养制度,定期对螺杆真空泵进行检查、清洁和维护。检查设备的各个部件,如转子、齿轮、轴承、密封件等,及时发现并更换磨损或损坏的部件。清洁泵腔、管道和过滤器,防止杂质和粉尘进入设备内部,...
选用合适的密封方式,根据罗茨真空泵的工作环境和要求,选用合适的密封方式至关重要。常见的密封方式包括机械密封、迷宫密封、干气密封等。各种密封方式都有其优缺点,需要根据实际情况进行选择。严格控制密封件的加...
作为工作介质的水,其质量直接影响水环真空泵的性能和寿命。因此,必须定期对水质进行检测和处理,确保水质清洁无杂质,以减少对泵体的磨损和腐蚀。水环真空泵启动后,需要从泵上的冷却管(通常安装在泵体侧面的螺丝...
两级水环真空泵,顾名思义,是指由两个级别的水环真空泵串联而成的真空设备。它利用两个级别的泵串联工作,使得在抽气过程中能够实现更高的真空度和更大的抽气量。这种设计使得两级水环真空泵在需要高真空度和大抽气...
操作简单:吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。水环真空泵的性能参数主要包括极限真空度、抽气量、压力范围等。极限真空度,水环真空泵所能获得的极限真空度为20004000Pa。当与真空泵组成机组时...
通过合理设计排水系统,及时排除设备内部的积水,防止腐蚀介质在设备内部积聚;通过改善通风条件,降低设备内部的湿度,减少腐蚀的发生。表面处理是提高水环真空泵防腐性能的有效手段。常见的表面处理方法包括喷涂、...
螺杆转子在真空泵运行过程中承担着气体的吸入、压缩和排出任务。当主动螺杆在电机驱动下开始旋转时,通过同步齿轮的精确传动,从动螺杆与之进行反向同步旋转。在旋转过程中,螺杆齿间的容积会发生规律性变化。在吸气...
罗茨真空泵维护与保养的注意事项:避免过度维护:过度维护不仅会增加维护成本,还可能对罗茨真空泵造成不必要的损伤。因此,在维护过程中应避免过度拆卸和更换部件。注意维护质量:维护和保养的质量直接影响到罗茨真...