显示面板制造(如OLED或LCD)涉及多层薄膜沉积,腔室污染会直接影响像素均匀性和亮度。RPS远程等离子源通过非接触式清洗,有效去除有机和无机残留物,确保沉积工艺的重复性。其高均匀性特性特别适用于大尺...
RPS远程等离子源在热电材料制备中的创新应用在碲化铋热电材料图案化中,RPS远程等离子源通过Cl2/Ar远程等离子体实现各向异性刻蚀,将侧壁角度控制在88±1°。通过优化工艺参数,将材料ZT值提升至1...
传统等离子清洗技术(如直接等离子体)常因高能粒子轰击导致工件损伤,尤其不适用于精密器件。相比之下,RPS远程等离子源通过分离生成区与反应区,只 输送长寿命的自由基到处理区域,从而实现了真正的“软”清洗...
作为光学方法,光学接触角测量仪的测量精度取决于图片质量和分析软件。视频光学接触角测量仪使用一个高质量的单色冷LED光源,在实际测试过种中,为了避免重力影响,我们都是应用1微升到2微升的液滴进行测试,,...
RPS远程等离子源在功率器件制造中的可靠性提升:功率器件(如GaN或SiC半导体)对界面质量极为敏感。污染会导致漏电流或击穿电压下降。RPS远程等离子源提供了一种温和的清洁方法,去除表面氧化物和金属杂...
显示面板制造(如OLED或LCD)涉及多层薄膜沉积,腔室污染会直接影响像素均匀性和亮度。RPS远程等离子源通过非接触式清洗,有效去除有机和无机残留物,确保沉积工艺的重复性。其高均匀性特性特别适用于大尺...
晟鼎精密接触角测量仪配备环境控制功能(可选配温湿度控制模块与惰性气体氛围模块),可模拟不同环境条件(如高温高湿、低温低湿、惰性气体保护),满足特殊样品(如易氧化材料、热敏材料、生物活性材料)的接触角检...
RPS远程等离子源在半导体设备维护中的经济效益统计数据显示,采用RPS远程等离子源进行预防性维护,可将PECVD设备平均无故障时间延长至2000小时,维护成本降低40%。在刻蚀设备中,RPS远程等离子...
RPS远程等离子源在研发实验室中的多功能性:研发实验室需要灵活的工艺工具来测试新材料和结构。RPS远程等离子源支持广泛的应用,从基板清洁到表面改性,其可调参数(如功率、气体流量和压力)允许用户优化实验...
等离子清洗机在大规模集成电路和分立器件行业中的应用在大规模集成电路和分立器件行业中,等离子体清洗一般应用于以下几个关键步骤中:1、去胶,用氧的等离子体对硅片进行处理,去除光刻胶;2、金属化前器件衬底的...