进气过滤系统清洁：拆卸进气过滤器滤芯，用压缩空气反向吹扫（从滤芯内侧向外吹），若滤芯堵塞严重（压差超过5kPa）或破损，需及时更换...

干式真空泵能做到基本没有二次污染产生，虽然现在有衬、喷、渗、镀以及合金等防腐技术，但在负压及摩擦等作用下，防腐层容易脱落失效，这已...

控制系统需具备多重安全联锁功能：设置介质浓度监测联锁，当泵入口可燃气体浓度超过下限的 25% 时自动停机并通入氮气吹扫；设置温度联...

密封件用氟橡胶（耐温200℃，耐化学腐蚀），低真空可选全氟塑料水环泵，高真空需耐腐蚀涡轮分子泵，维护要求：每次运行后用惰性气体吹扫...

高真空，扩散泵机组、涡轮分子泵-旋片组合机组，真空镀膜（1×10⁻³-1×10⁻⁵Pa）、电子束焊接（1×10⁻⁴-5×10⁻⁴P...