耐蚀材质是机组抵御腐蚀的一道防线，选择需遵循“气体特性-材质性能”的匹配逻辑：泵体主体材质，某半导体厂处理氟化氢气体时，对比测试显...

旋片泵的极限真空度约10⁻³Pa，无法满足超高真空需求；涡轮分子泵虽能达到10⁻¹¹Pa，但必须在入口压力低于10⁻¹Pa时才能启...

定期对系统进行烘烤除气和检漏，去除系统内的残留气体和发现潜在的泄漏点。对于长期停用的真空机组，在重新启用前，需要进行详细的检查和处...

传统真空泵（尤其是油封式真空泵）在工作过程中会产生大量的废油，这些废油需要专门处理，增加了处理成本和对环境的污染。螺杆真空泵在抽气...

在工作特性上，单级机型极限真空度可达6.5×10²Pa，抽速范围覆盖30~10000L/s，泵腔内无需用油密封润滑，能有效减少油蒸...