半导体和电子工业对设备密封性能要求极高。在晶圆制造设备的真空泵中,如干泵、涡轮分子泵,碳化硅陶瓷密封环可防止污染,确保工艺环境纯净,其表面粗糙度可达 Ra0.05μm 以下,避免杂质对晶圆制造过程的干...
为满足不同客户的多样化需求,许多厂家提供碳化硅密封环定制服务。客户可根据实际使用场景,如温度(-200℃至 1600℃)、压力(真空至 100MPa)、介质(强酸、强碱、有机溶剂、含颗粒介质等)等工况...
碳化硅密封环对酸、碱等腐蚀性介质具有良好的抵抗能力,在常温下,能够耐受多种强酸强碱的侵蚀。在化工生产中,常常需要输送各类腐蚀性极强的化学原料,如硫酸、盐酸、氢氧化钠等。在这样的环境下,普通密封材料会迅...
等静压成型技术在碳化硅陶瓷密封环的生产中应用普遍。首先是粉末准备环节,需采用机械磨碎或化学合成等方法,获得高质量、高纯度且流动性良好的碳化硅粉末。随后,将粉末置于特制的橡胶模具中进行真空封装,防止在后...