半导体和电子工业对设备密封性能要求极高。在晶圆制造设备的真空泵中,如干泵、涡轮分子泵,碳化硅陶瓷密封环可防止污染,确保工艺环境纯净,其表面粗糙度可达 Ra0.05μm 以下,避免杂质对晶圆制造过程的干...
碳化硅密封环成型工艺多样,干压成型适宜形状简单、批量较大的制品生产,通过在 100-300MPa 的压力下,使碳化硅原料在模具中成型,这种工艺生产效率高,单件生产周期可控制在 30 分钟以内,适用于如...
碳化硅密封环具有较低的摩擦系数,这使其在设备运行时能够实现低摩擦密封功能。在高速旋转设备,如涡轮压缩机、高速离心泵中,传统密封环由于摩擦系数较高,在设备运转过程中会产生大量的摩擦热,不仅造成能量损耗,...
随着科技的不断进步和工业需求的持续增长,碳化硅密封环有望在材料性能、制备工艺和应用领域等方面取得更大突破。在材料方面,通过研发新型添加剂或改进原料配方,进一步提升碳化硅密封环的综合性能,如提高断裂韧性...
通过发挥其耐磨、耐腐蚀、耐高温等多种功能,碳化硅密封环能够明显延长设备的使用寿命。在工业生产中,设备的密封部件是易损件,密封环的损坏往往会导致设备停机维护,影响生产进度,增加生产成本。碳化硅密封环凭借...