加工中心测量头

对于半导体行业来说，圆晶测量和缺陷检测都是半导体生产的关键环节，检测和控制生产中的每一步生产质量。为了显微测量，马波斯提供2D光谱共焦线扫相机。在超高分辨率和超大景深应用中，可在Z轴上准确聚焦。因此，这是检测圆晶缺陷的理想选择，例如，圆晶沿的检测和封装期间的检测。这些传感器都允许集成在测量和检测设备中。马波斯和STIL在数十年的发展中积累了丰富的经验，可为用户提供量身定制解决方案和的光学设计。马波斯的小横向分辨率为0.4μm*0.4μm，大倾斜角为+/-45°，0.75数值孔径。马波斯总流量测试带来以下好处，减少系统的响应时间并确保减少因大泄漏造成的腔室污染。加工中心测量头

对于光学测量不到的特征，G25是一个完美的互补。这些测量特征通常包括：•键槽深度，角度，对称度•孔•平面的形位特征•轴向跳动。接触式轴向测头通过智能集成的轴向接触式测头，可进一步拓展Optoquick的功能。这使得Optoquick能够实现以下附加功能：•小公差的轴向跳动度•用户定义半径处的轴向长度•穿过工件轴线的测量•光学测量不到的区域。通过将光学与接触式技术，以及完整的马波斯设计结合起来，Optoquick可提供高于行业标准的扩展测量功能。通过此独特的技术集成，Optoquick可快速测量规定半径处的轴向单跳动和全跳动。吉林汽车空调检测设备厂家在燃料电池组的流动板方面，马波斯Hetech目前正在制造一个配备4个腔室的系统，以满足客户的高生产率需求。

在测量转子轴多个截面的外径的同时,还可以同时测量铁芯和花键齿轮相对于转子轴的跳动。用激光扫描技术检查平衡孔的直径和深度是一个附加功能。Marposs可以提供基于2D光学技术的高精度测量解决方案,用于在计量实验室和生产环境中对转子和转子轴进行快速和多样的质量控制。触觉感应和光学技术的结合(也能在转子磁场的影响下工作)使测量能力达到理想水平。根据转子类型的不同,客户可使用定制的手动或自动方案进行不同的测试操作。通过反电动势分析检查永磁转子的磁场均匀性、检查感应电机鼠笼转子条的局部缺陷、绕线转子的绝缘测试，包括局部放电测量等。

Optoquick让操作变得更高效。Optoquick减少了生产过程中，浪费在零件验证上的时间。Optoquick的操作不但快速，而且可将它直接安装在生产机床旁，消除了昂贵的工件物流成本。使用Optoquick提高了生产率，并可对生产高峰进行管理。因此，可在数月之内获取投资回报。除此之外，还可以提高生产质量水平。Optoquick在生产机床旁安装，从而可更加频繁进行工件的测量验证与确认。因此，Optoquick可提升质量保障，在一定程度减少废件的生产。局部放电测试法能识别潜在绝缘缺陷的方法,潜在的绝缘缺陷会使产品运行短时间后产生故障。

在半导体行业，圆晶减薄当然是非常精密的加工过程。在减薄过程中，需要用接触式或非接触式传感器严格控制加工过程。从步骤来看，封装前，圆晶需要达到正确的厚度，这是半导体生产的关键。圆晶背面研磨（圆晶减薄）是一种半导体生产工序，在此期间需要严格控制圆晶厚度，使圆晶达到超薄的厚度，可叠放和高密度封装在微型电子器件中。马波斯传感器甚至可检测到砂轮与圆晶接触的瞬间或检查任何过载。同时，马波斯传感器可在干式和湿式环境中可靠地在线测量厚度。马波斯为电动马达及其组件开发生产的所有阶段的所有电气测试和绝缘问题检测提供定制的在线和离线解决方案。电堆低压检测

马波斯T3LD是一种新颖的压差法泄漏测试装置。通过测量被测产品与参考样品之间的压差，可以缩短测试时间。加工中心测量头

在泄漏测试方面，Marposs在泄漏测试方案领域拥有丰富的经验,方案可集成不同技术,确保可以为整个电驱动产品组件提供比较好的解决方案,如电机、电力电子单元和相应的冷却回路。定制化解决方案可以满足不同客户的需求,从简单的手动测量工站到量产线集成自动化方案。在机电组件装配方面，Marposs可为机电组件的整体装配提供灵活的解决方案,如逆变器和电池充电器等。根据客户的规格不同,提供定制化装配解决方案--手动或全自动方案--与测量和测试应用相结合,包括完整的EOL功能测试。加工中心测量头