一家深耕实验室环境控制26年的科技企业,正以±0.002℃的温控精度刷新行业纪录。南京拓展科技有限公司(下称“南京拓展科技”)研发的精密环控系统,为芯片制造、航空航天、生物医药等战略性新兴产业筑起"科技堡垒"。走进某芯片企业百级洁净车间,工程师们正在精密环控系统营造的"微气候"中作业。这里的温度波动需要控制在±0.005℃范围内。这种近乎严苛的环境控制,正是纳米芯片光刻工艺的关键支撑。
“环境控制已成为现代科研的'第二实验室。”南京拓展科技总工程师介绍,在生物医药领域,疫苗研发需要持续21天的±0.5℃恒温环境;航空航天材料测试对湿度波动的要求精确到±2%RH;而在芯片制造过程中,光刻环节更是关键与关键。为保证光刻机稳定运行,需要将其置于极高精密的温湿度波动环境内运行。温度和湿度的细微变化,都可能导致光刻机内部的光学元件、机械部件产生热胀冷缩或物理性质改变,进而影响光线传播路径、聚焦精度以及机械运动的准确性,对芯片制造的质量和良率起着决定性作用。 涉及超高精度的测量环境要求,如±0.01-0.1℃ , 甚至更高波动要求,则需要搭建精密环控系统。化学环境控制

为了确保实验结果的准确性,恒温恒湿实验室内的温湿度波动应被严格限制。温度波动应不超过±1℃,湿度波动则不应超过±5%RH。湿度精度级别不同,适用于不同用途的实验室。例如,≤±5%主要用于一般试验、检测、检验用途的实验室,而≤±1%主要用于生物安全类科研、研发、检测的实验室。
恒温恒湿空调系统是实验室恒温恒湿的主要手段之一。通过制冷、制热、加湿、除湿等功能,将实验室内的温度和湿度控制在设定的范围内。通风设备也是实现实验室恒温恒湿的重要手段之一。通过合理的通风设计,可以确保实验室内的空气流通,减少温湿度的不均匀性。通过制冷、制热、加湿、除湿等功能,将实验室内的温度和湿度控制在设定的范围内。合理的通风系统设计,可以确保实验室内的空气流通,减少温湿度的不均匀性。 芯片封装环境设备采购高精密温湿度控制设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h。

超高水准洁净度控制使精密环控柜在众多领域发挥着无可替代的作用。该系统可轻松实现百级以上洁净度控制,内部洁净度可优于ISOclass3(设备工作区)。这一特性得益于其先进的空气过滤系统,多层高效过滤器能够有效拦截空气中的尘埃颗粒、微生物等污染物。在对洁净度要求极高的半导体制造领域,微小的尘埃颗粒都可能导致芯片出现瑕疵,影响性能和良品率。精密环控柜提供的超洁净环境,能极大降低尘埃对芯片制造过程的干扰,确保芯片的高质量生产。在生物制药领域,药品的生产过程必须保证无菌无尘,防止微生物污染。其超高的洁净度控制能力,为药品的研发和生产提供了符合标准的洁净空间,保障了药品的安全性和有效性。
2022年8月28日,由南京拓展科技有限公司承接的武汉大学武汉光源预研基地高标准环境控制系统与精密实验环境集成装置顺利通过了专业组验收,并得到了专业组充分肯定。此次建设交付项目包含多套高标准环境控制系统以及精密实验环境集成装置,主要功能为磁测实验室、束测实验室、束线光学实验室、高频实验室万级间、高频实验室百级间、直线加速器实验室、真空实验室。此次验收完成是武汉光源预研实验室建设升级的重要组成部分,也是武汉光源建设的基础工程。设备内部压力稳定性可达 +/-3Pa。

“环境控制已成为现代科研的'第二实验室。”南京拓展科技总工程师介绍,在生物医药领域,疫苗研发需要持续21天的±0.5℃恒温环境;航空航天材料测试对湿度波动的要求精确到±2%RH;而在芯片制造过程中,光刻环节更是关键与关键。为保证光刻机稳定运行,需要将其置于极高精密的温湿度波动环境内运行。温度和湿度的细微变化,都可能导致光刻机内部的光学元件、机械部件产生热胀冷缩或物理性质改变,进而影响光线传播路径、聚焦精度以及机械运动的准确性,对芯片制造的质量和良率起着决定性作用。
目前,南京拓展科技自主研发的精密环控柜可实现洁净度百级、十级、一级,温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密环境控制。自面世以来,经过市场层层筛选,已应用于众多科研与生产场景:某全球半导体企业研发环境温度稳定性达到±0.01℃;某全球通信设备企业研发环境温度稳定性达到±0.005℃;某国家大科学装置实验室温度稳定性达到±0.005℃……南京拓展科技以的精密环控技术,被国家前列科研机构、全球相关行业企业坚定选择。
针对设备运维,系统实时同步记录运行、故障状态,快速查询回溯,准确定位问题根源。山东新能源电子环境
根据高精密行业用户的反馈,对产品进行持续优化,不断提升设备的适用性和稳定性。化学环境控制
在3D打印行业蓬勃发展的当下,温湿度成为左右打印质量的关键因素。在打印过程中,一旦环境温度出现较大幅度的波动,用于成型的光敏树脂或热熔性材料便会受到直接冲击。材料的固化速率、流动性不再稳定,这会直接反映在打印模型上,导致模型出现层纹,严重时发生变形,甚至产生开裂等严重缺陷。而当湿度偏高,材料极易吸湿。在打印过程中,这些吸收的水分转化为气泡,悄然隐匿于模型内部或浮现于表面,极大地破坏模型的结构完整性,使其表面质量大打折扣,影响3D打印产品在工业设计、医疗模型等诸多领域的实际应用。
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