数据可视化与便捷管理是设备亮点。设备自动生成数据曲线,如同设备运行 “心电图”,便于客户随时查看设备运行状态。数据自动保存,可随时以表格的形式导出,方便客户进行数据分析和处理。运行状态、故障状态等事件同步记录,查询一目了然,让客户对设备状态了如指掌。设备采用可拆卸铝合金框架,大型设备可现场组装,灵活便捷,减少运输压力,方便不同环境使用运行。箱体采用高质量钣金材质,美观大方,可根据客户需求定制外观颜色,满足客户的个性化需求。精密环境控制设备内部温度规格设定为 22.0 °C 且可灵活调节,以满足不同控温需求。高精度环境选型
设备运行静音高效是精密环控柜的又一优势。采用的 EC 风机,具备更高效、更强大、更安静的运行特点。相比传统风机,EC 风机能够在提供充足风量的同时,有效降低能耗,提高能源利用效率。制冷单元内部采用高效隔音材质,进一步降低设备噪音,使其运行噪音小于 45dB 。噪音作为一种能量对于生产过程存在难以忽视的影响,极低的噪音恰恰能防止设备收到干扰,影响生产环境。高效的运行则保证了设备能够快速、稳定地调节温湿度和洁净度,满足各类精密实验和生产的需求。高精度环境选型半导体芯片制造环节,凭借其超高洁净度及极为微小的温湿度波动,有效减少芯片瑕疵,提升产品良品率。
精密环控柜主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。该系统可实现洁净度百级、十级、一级,温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密环境控制。自面世以来,已为相关领域客户提供了稳定的实验室环境以及监测服务,获得了众多好评。
在集成电路制造这一高精密的领域中,芯片生产线上的光刻工序堪称关键的环节,其对温湿度的要求近乎达到苛刻的程度。即便是极其微小的 1℃温度波动,都可能引发严重后果。光刻机内部的光学镜片会因热胀冷缩,致使光路发生细微偏移。这看似毫厘之差,却足以让光刻图案精度严重受损,使得芯片上的电路布线出现偏差,甚至短路等问题,进而大幅拉低芯片的良品率。而在湿度方面,一旦湿度突破 50% 的警戒线,光刻胶便极易受潮,其感光度发生改变,导致曝光效果大打折扣,无疑同样对芯片质量产生不可忽视的负面影响。高精密环控设备可移动,容易维护和扩展。
在计量校准实验室中,高精度的电子天平用于精确称量微小质量差异,对环境温湿度要求极高。若温度突然升高 2℃,天平内部的金属部件受热膨胀,传感器的灵敏度随之改变,原本能测量到微克级别的质量变化,此时却出现读数偏差,导致测量结果失准。湿度方面,当湿度上升至 70% 以上,空气中的水汽容易吸附在天平的称量盘及内部精密机械结构上,增加了额外的重量,使得测量数据偏大,无法反映被测量物体的真实质量,进而影响科研实验数据的可靠性以及工业生产中原材料配比度。精密环控设备为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。高精度环境选型
针对光学镜片研磨车间,提供稳定温湿度,保证镜片加工精度。高精度环境选型
在航空航天和新能源电子领域,众多零部件的制造与检测对环境的精密性要求极高,精密环控柜为这些关键环节提供了可靠保障。航空航天零部件多采用先进材料制造,其加工和检测过程需要严苛的环境条件。如航空发动机叶片的精密加工,0.05℃的温度波动都可能使机床的主轴、导轨等关键部件热变形,导致叶片加工精度不达标。精密环控柜的高精度温度控制,确保加工环境稳定,保障叶片加工质量。同时,其超高水准洁净度控制,防止尘埃颗粒对航空零部件的污染,提升产品可靠性。除此之外,一些需要高精密环境的领域,也离不开精密环控柜。高精度环境选型