环境系统

原子力显微镜，堪称纳米尺度下微观世界探索的一把利刃，在材料科学、生物医学等前沿领域发挥着无可替代的重要作用。它能够对微观形貌进行观测，并细致地测量力学性能，为科研工作者打开了通往微观世界的大门。然而，这一精密仪器对环境条件极为敏感。即便是极其微小的温度波动，哪怕只有零点几摄氏度的变化，都会对其关键部件 —— 微悬臂产生影响。微悬臂会因热胀冷缩效应，改变自身的共振频率与弹性系数，使得测量力与位移的精度大幅下降，难以探测样品表面的原子级细微起伏。在湿度方面，高湿度环境同样是个棘手的难题。此时，水汽极易在针尖与样品之间悄然凝结，额外增加的毛细作用力，会严重干扰测量数据的准确性。不仅如此，水汽长期作用还可能腐蚀微悬臂，极大地缩短仪器的使用寿命，给科研工作带来诸多阻碍。设备的气流循环系统经过特殊设计，确保每个角落都能均匀享受稳定环境。环境系统

在芯片这一高科技产品的复杂生产流程里，众多环节对温湿度的波动展现出了近乎苛刻的精密度要求。光刻过程中，利用高精度的光刻设备，将预先设计好的复杂电路图案转移至硅片表面。温度的稳定性起着决定性作用，哪怕有零点几摄氏度的微小波动，都会使光刻胶内部的化学反应速率产生偏差。光刻胶作为一种对光敏感的高分子材料，其反应速率的改变将直接作用于光刻成像效果，致使图案边缘模糊、线条粗细不均，进而让芯片上的线路出现偏差，甚至引发短路故障，让前期投入的大量人力、物力和时间付诸东流。与此同时，湿度因素同样不可小觑。光刻车间若湿度偏高，水汽极易渗透至光刻胶内部，使其含水量上升，感光度随之降低，如同给精密的 “光刻镜头” 蒙上一层雾霭，严重影响光刻精度，导致芯片良品率大打折扣，大幅增加生产成本。离子束刻蚀机环境方案如果您的设备需在特定温湿度、洁净度实验室运行，对周围环境条件有要求，可以选择精密环控柜。

在科研与工业制造等众多领域，光学仪器如激光干涉仪、光学显微镜、电子显微镜等，发挥着无可替代的关键作用，而它们对运行环境的要求极为苛刻，尤其是温湿度、洁净度以及抗微震性能。精密环控柜的出现，为这些精密仪器提供了理想的运行环境。以激光干涉仪为例，其凭借纳米级别的高精度测量能力，在诸多精密领域不可或缺。但它对温度极度敏感，哪怕有 0.01℃的温度波动，由于仪器主体与测量目标热胀冷缩程度的差异，会造成测量基线改变，致使测量位移结果出现偏差。精密环控柜凭借超高精度温度控制，将温度波动控制在极小范围，有力保障了激光干涉仪测量的准确性。

我司凭借深厚的技术积累，自主研发出高精密控温技术，精度高达 0.1% 的控制输出。温度波动值可实现±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密环境控制。该系统洁净度可实现百级、十级、一级。关键区域 ±5mK（静态）的温度稳定性，以及均匀性小于 16mK/m 的内部温度规格，为诸如芯片研发这类对温度极度敏感的项目，打造了近乎完美的温场环境，保障实验数据不受温度干扰。同时，设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h，压力稳定性可达+/-3Pa，长达 144h 的连续稳定工作更是让长时间实验和制造无后顾之忧。在洁净度方面，实现百级以上洁净度控制，工作区洁净度优于 ISO class3，确保实验结果的准确性与可靠性，也保障了精密仪器的正常工作和使用寿命。为航天零部件检测打造的专属环境，满足其对温湿度、洁净度近乎苛刻的要求。

精密环控柜主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成，为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环，控制系统对循环气流的每个环节进行处理，从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。该系统可实现洁净度百级、十级、一级，温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密环境控制。自面世以来，已为相关领域客户提供了稳定的实验室环境以及监测服务，获得了众多好评。针对设备运维，系统实时同步记录运行、故障状态，快速查询回溯，准确定位问题根源。离子束刻蚀机环境报价

涉及超高精度的测量环境要求，如±0.01-0.1℃ , 甚至更高波动要求，则需要搭建精密环控系统。环境系统

激光干涉仪用于测量微小位移，精度可达纳米级别。温度波动哪怕只有 1℃，由于仪器主体与测量目标所处环境温度不一致，二者热胀冷缩程度不同，会造成测量基线的微妙变化，导致测量位移结果出现偏差，在高精度机械加工零件的尺寸检测中，这种偏差可能使零件被误判为不合格品，增加生产成本。高湿度环境下，水汽会干扰激光的传播路径，使激光发生散射，降低干涉条纹的对比度，影响测量人员对条纹移动的精确判断，进而无法准确获取位移数据，给精密制造、航空航天等领域的科研与生产带来极大困扰。环境系统