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    包括***路基频光源211、第二路基频光源212、其后放置非线性晶体221和非线性晶体222，光路反射镜231、以及光路切换装置241。***路基频光源211输出的基频光经过非线性晶体221产生一路波长的激光输出，第二路基频光源212经过非线性晶体222产生另一路波长的激光输出，两路波长在切换装置处进行切换，当切换装置开的时候，可实现两路合并输出，当切换装置关的时候，可实现其中一路输出。以上装置，一种是利用单台基频激光输出，通过机械手段控制所选波长的输出，这种采用机械装置的方式，频繁对器件进行移入移出光路的操作，长时间工作不利于激光器的稳定性。另一种是利用多路激光模块合并的方式，即利用多个激光晶体和多个非线性晶体产生多路的激光波长，再将各路激光选择性合并，这次方式增加了更多的晶体等器件，使得激光系统体积变大，且较多的器件提高了激光器的成本。除此之外，还有一些采用单台激光器进行非线性频率变换，再利用激光的偏振特性或者光学镀膜改变产生的各个波长的激光的路径，随后再进行分光或合束的方法，同样增加了激光器成本及光路的复杂性。公开内容(一)要解决的技术问题基于上述问题，本公开提供了一种可控的多波长激光输出装置。上海利兴斯化工有限公司致力于提供氖，有需求可以来电购买氖！河南高纯氖气多少m3

    本发明涉及一种气体分离的方法，尤其涉及一种氪氙精制中降低液氮使用量的方法和装置。背景技术：大气中的氪和氙含量分别约为×10-6和×10-6，微量氪和氙随空气进入空气分离装置的低温精馏塔后，高沸点组分氪、氙、碳氢化合物(主要是甲烷)以及氟化物均积聚在低压塔的液氧内，将低压塔的液氧送入一个氪附加精馏塔(俗称贫氪塔)。可获得氪氙含量为～％kr+xe的贫氪氙浓缩物，其中甲烷含量约为～％。氧气中甲烷含量过高(一般不超过％ch4)是极其危险的，只有预先脱除掉贫氪氙浓缩物中的甲烷后，才有可能继续提高液氧中的氪氙浓度，在已知的方法中，首先将贫氪氙浓缩物加压到临界压力，再减压到。甲烷纯化装置是通过钯催化剂，在480～500℃的温度下，氧与甲烷进行化学反应后甲烷被脱除(残余甲烷含量可低于1×10-6)，然后用分子筛吸附脱除化学反应生成物——二氧化碳和水。去除甲烷后的原料气进入精馏塔后得到氪氙混合物。一般的精制设备利用此氪氙混合物作为原料，以氮气和液氮的混合气为冷源，通过增设多级精馏的形式分离氪气、氙气，并进一步提纯氪气氙气。精制设备所使用的的氮气直接进冷箱，没有预冷过程，对应使用的液氮量较大。因此，本领域的技术人员致力于开发氪氙精制方法。安徽超纯氖上海利兴斯化工有限公司为您提供氖，欢迎您的来电哦！

    光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施：为新的气体供应商提供快速资质认证；限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用；加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定，用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战，这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国，但由于国内危机持续不断，氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨，也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言，这是一个严峻的局面。为应对这次危机，Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案，内容包括：为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前，新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案，客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。

    预纯化单元28通常包含根据变温和/或变压吸附循环操作的氧化铝和/或分子筛的两个床，在该吸附循环中水分及其他杂质(诸如二氧化碳、水蒸气和烃类)被吸附。这些床中的一个床用于预纯化该冷却且干燥的经压缩空气进料，而另一个床是利用来自空气分离单元的废氮的一部分再生的。这两个床定期交换功用。在设置在预纯化单元28下游的粉尘过滤器中，从经压缩且预纯化的进料空气中移除颗粒以产生经压缩且纯化的进料空气流29。该经压缩且纯化的进料空气流29在包括高压塔72、低压塔74和任选的氩塔76的多个蒸馏塔中被分离为富氧馏分、富氮馏分和富氩馏分(或氩产物流170)。然而，在这种蒸馏之前，通常将经压缩且预纯化的进料空气流29分成多个进料空气流42、44和32，该多个进料空气流可包括锅炉空气流42和涡轮空气流32。锅炉空气流42和涡轮空气流32可在压缩机41、34和36中进一步压缩，并且随后在后冷却器43、39和37中冷却以形成经压缩物流49和33，这些经压缩物流然后被进一步冷却至主换热器52中的精馏所要求的温度。通过与包括氧气流190的加热流和来自蒸馏塔系统70的氮气流193、195的间接换热来在主换热器52中完成对空气流44、45和35的冷却，以产生经冷却的进料空气流47、46和38。上海利兴斯化工有限公司为您提供氖，有想法的可以来电购买氖！

    或者可以是形成不可冷凝气体回收系统100的一部分的单元。在图7和图8的实施方案中，冷凝器-再沸器520、620是双级冷凝器-再沸器，该双级冷凝器-再沸器提供双级别致冷以将来自不可冷凝物汽提塔510、610的大部分塔顶馏出蒸气529、629部分冷凝。图7所示的回流冷凝器-再沸器520被构造成接收来自不可冷凝物汽提塔510的包含氖气和其他不可冷凝物的塔顶馏出气体529、包括从空气分离单元10的氮气过冷器转移来的釜沸腾流的冷凝介质522、以及包括经由经过冷液氮回流流的阀546的节流部分的第二冷凝介质548。该双级回流冷凝器-再沸器520被构造成产生作为回流返回到不可冷凝物汽提塔510的液氮冷凝物流545、被引导至空气分离单元10的氩冷凝器78的双相汽化流525、以及被从冷凝器-再沸器520的顶部抽出并且包含大于约50％摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流550。该粗氖蒸气流还可包含大于约10％摩尔份数的氦气。将汽化流549从相分离器544中移除并进料至废物流93中。与其他上述实施方案一样，例示的不可冷凝气体回收系统的总体氖气回收率高于95％。所描绘的不可冷凝气体回收系统的附加有益效果是液氮消耗低，并且由于大量液氮被再循环回到低压塔。上海利兴斯化工有限公司为您提供氖，有需要可以联系我司哦！福建高纯氖厂家价格

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    激光将无改变的通过非线性晶体。在本公开实施例中，所述λ＝1064nm。(三)有益效果从上述技术方案可以看出，本公开可控的多波长激光输出装置至少具有以下有益效果其中之一或其中一部分：(1)不需要引入大量多余的晶体和分光镜片；(2)能保证多波长的激光沿着同一输出光路输出，且各个波长的功率占比在一定程度上可以调节；(3)成本低，光路简洁有效。附图说明图1为现有技术中的一种多波长激光输出方式的结构示意图。图2为现有技术中的另一种多波长激光输出方式的结构示意图。图3为本公开实施例一种可控的多波长激光输出装置结构示意图。图4为本公开实施例另一种可控的多波长激光输出装置结构示意图。【附图中本公开实施例主要元件符号说明】111、211、212、311-基频激光光源；131、132-可移动的平台；221、222-非线性晶体；231-光路反射镜；241-光路切换装置；121、321、421-二倍频非线性晶体；122、322、422-三倍频非线性品体；323-四倍频非线性晶体；411-激光晶体；431-全反镜432-二倍频谐波镜；433-三倍频谐波镜；434-输出镜。具体实施方式本公开提供了一种可控的多波长激光输出装置，所述可控的多波长激光输出装置不需要引入大量多余的晶体和分光镜片。河南高纯氖气多少m3