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    进入冷箱内的主换热器3。作为一个推荐实施例，所述氮气从主换热器3冷端抽出后进入一级精馏塔4的***冷凝蒸发器9与液氮混合生成低温氮气，温度为约℃。作为一个推荐实施例，所述氮气从主换热器3中部抽出后进入冷箱内，生成较低温氮气，温度为-70℃。作为一个推荐实施例，所述低温氮气为一级精馏塔4中***冷凝蒸发器9的冷源，其中配比为420n·m3/h，-118℃氮气与200n·m3/h液氮，得到-180℃的低温氮气320n·m3/h。通过本实施例可知，本发明采用液氮和氮气的混合气作为冷源，可稳定的维持各冷凝蒸发器的操作温度，保证精馏的顺利的进行；通过对较高温度氮气的预冷，回收了出主换热器3氮气的冷量，有-35℃，升为-12℃甚至可以更高，液氮使用量有250l/h，降到150l/h(可更低)，降幅为40％。产生了巨大的经济效益。通过对氮气的回收循环利用，氪氙精制工艺中的液氮或氮气消耗量会大幅度降低，从而降低了能耗和生产成本。循环氮气量至少占到系统使用的70％以上，液氮节约量至少为70％。实施例2如图1所示，本发明实施例还提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的装置，包括：用于氪氙精制的分馏塔2，包括：位于一级精馏塔4塔内，以液氮与氮气混合后得到的低温气体为冷源的***冷凝蒸发器9。在高电压下，氖气可被激发为氖的等离子体状态，发出红色橙色的荧光。山东纯氖气厂家价格

    频率转换将不发生，激光将无改变的通过非线性晶体，且由于晶体对各个波长的透过率非常高，功率损耗很小可忽略。当非线性晶体421、422均工作在比较好温度时，输出全部激光波长，分别为1064nm、532nm、355nm；当非线性晶体421均工作在比较好温度时，非线性晶体422远偏离比较好温度时，输出两种波长，分别为1064nm、532nm；当非线性晶体421、422均远偏离比较好温度时，输出一种波长，为1064nm。同样，当使某一非线性晶体工作在其比较好工作时，可使此非线性晶体产生的波长的激光输出功率比较大，若稍微调离比较好工作温度时，可使此晶体对应产生的波长功率降低，从而可以调节各个波长输出的比例。以此类推。至此，已经结合附图对本公开实施例进行了详细描述。需要说明的是，在附图或说明书正文中，未绘示或描述的实现方式，均为所属技术领域：中普通技术人员所知的形式，并未进行详细说明。此外，上述对各元件和方法的定义并不*限于实施例中提到的各种具体结构、形状或方式，本领域普通技术人员可对其进行简单地更改或替换。依据以上描述，本领域技术人员应当对本公开可控的多波长激光输出装置有了清楚的认识。综上所述，本公开提供了一种可控的多波长激光输出装置。四川液氖是什么上海利兴斯是一家具有专业生产工业气体公司。

    准确的说是氪氙精制中降低液氮使用量的方法。技术实现要素：本发明的目的是针对现有技术中的不足，提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的方法和装置。为实现上述目的，本发明采取的技术方案是：提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的方法，分馏塔中冷凝蒸发器的冷源为液氮与氮气混合后得到的低温气体，根据分馏塔中每个精馏塔的操作温度不同，每个精馏塔的冷凝蒸发器冷源中低温氮气与常温氮气以不同比例混合。推荐地，从各冷凝蒸发器出来的氮气汇总后，经过主换热器复热送给直接放空。推荐地，从各冷凝蒸发器出来的氮气汇总后，经过主换热器复热送给循环压缩机增压。推荐地，所述氮气从直接管道供气或循环压缩机出来后，进入冷箱内的主换热器。推荐地，所述氮气从主换热器冷端抽出后进入一级精馏塔的***冷凝蒸发器与液氮混合生成低温氮气。推荐地，所述氮气从主换热器中部抽出后进入冷箱内，生成较低温氮气。推荐地，所述低温氮气为一级精馏塔中***冷凝蒸发器的冷源。推荐地，所述低温氮气出***冷凝蒸发器后与所述较低温氮气混合为其他精馏塔中冷凝蒸发器的冷源。还提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的装置，包括：用于氪氙精制的分馏塔，包括：位于一级精馏塔塔内。

    Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术，KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量，ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后，客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示：“氖气是半导体制造业不可或缺的气体，我们认识到在当前情况下，持续的供应危机是一个极为严重的问题，将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产，为此我们推出了三大措施：为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。用工业气体氖做介质制成的封闭循环式微型制冷机。

    因此对空气分离单元10中其它产品构成物的分离和回收的影响小。在许多方面，图8的实施方案与图7所示的实施方案相当相似，对应的元件和物流具有对应的附图标号，但在图8中以600序列标号，在图7中以500系列标号。例如，图7中由附图标号522、525、544、545、546、548、549和550**的项目分别与图8中由附图标记号622、625、644、645、646、648、649和650**的项目相同或相似。图7的实施方案与图8的实施方案之间的主要差异在于来自空气分离单元的氮气过冷器的釜沸腾流被来自空气分离单元10的氩冷凝器78的釜沸腾流622替代。此外。由双级回流冷凝器-再沸器620产生的沸腾流625被引导至相分离器670，所得蒸气流671和液体流672被返回到空气分离单元10的低压塔74的中间位置。实施例对于本发明的回收氖气的系统和方法的各种实施方案，使用各种空气分离单元操作模型来进行多个工艺模拟以表征：(i)氖气和其他稀有气体的回收；(ii)粗氖蒸气流的组成；以及(iii)来自蒸馏塔体系的氮的净损失；当使用上述和相关附图中所示的氖气回收系统和方法来操作空气分离单元时。表1示出了针对参考图2描述的氖气回收系统和相关联方法的基于计算机的工艺模拟的结果。如表1所示。氖在常温常压下为无色无臭无毒的惰性气体。空气中含氖约18ppm。不燃。浙江纯氖哪家好

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    空气分离单元在高压塔的状态下操作。大致高压塔转移到氖气回收系统，而大致。除了直接从氖气回收系统中取出的任何液氮产物之外，氖气回收系统能够以至低压塔的经过冷液氮的形式将约％的经转移物流返回到蒸馏塔系统(即，来自不可冷凝物汽提塔的)。回收氖气和其他稀有气体包括回收约％的氖气。通过将粗氖流的流量()乘以粗氖流中的氖气含量(％)并将该数字()除以主空气流(*％)和进入蒸馏塔系统的液体空气流(*％)中包含的氖气，计算出氖气回收率。如表1所示，粗氖蒸气流的组成包括％的氖气和％的氦气。表1。图2的氖气回收系统和相关联方法的工艺模拟)表2示出了针对参考图4描述的氖气回收系统和相关联方法的基于计算机的工艺模拟的结果。如表2所示，空气分离单元在高压塔的状态下操作。约高压塔转移到氖气回收系统，而大致。除了直接从氖气回收系统中取出的任何液氮产物之外，氖气回收系统能够以至低压塔的经过冷液氮的形式将超过99％的经转移物流返回到蒸馏塔系统(即，来自不可冷凝物汽提塔的)。回收氖气和其他稀有气体包括回收约％的氖气，而粗氖蒸气流的组成包括％的氖气和％的氦气。表2。山东纯氖气厂家价格