溧水区电子芯片实验室气体管道系统工程

实验室废气需按类型处理，酸性废气（如盐酸、硫酸雾）采用碱液吸收法，设置喷淋塔（材质为 PP，塔高≥3m），喷淋液为 20% 氢氧化钠溶液，气液比≥15:1，处理后废气中酸性物质浓度≤10mg/m³；碱性废气（如氨气）采用酸液吸收法，喷淋液为 10% 硫酸溶液，处理后废气中碱性物质浓度≤10mg/m³；有机废气（如苯、甲苯）采用活性炭吸附法，设置活性炭吸附塔（材质为不锈钢，活性炭填充量≥0.5m³），吸附效率≥90%，活性炭需定期更换，更换周期根据废气浓度确定；生物废气（含微生物）采用高效过滤 + 紫外线消毒法，高效过滤器（HEPA H14）过滤效率≥99.995%，紫外线灯功率≥30W，照射时间≥30s，确保微生物杀灭率≥99.9%。废气处理系统排风口高度≥屋顶 2m，避免影响周边环境。实验室重金属废水处理需投加重金属捕捉剂，使重金属离子形成沉淀物，通过沉淀、过滤去除重金属污染物。溧水区电子芯片实验室气体管道系统工程

GMP 洁净实验室需对关键设备（如空调机组、纯化水系统、生物安全柜）进行集中监控，通过 Modbus 或 Profinet 协议将设备运行数据（如空调风速、纯化水电阻率、安全柜负压）传输至控制系统。系统可实时显示设备状态，当设备故障（如空调风机故障、纯化水电阻率超标）时，自动报警并显示故障原因，同时生成维修工单，推送至维修人员。部分设备支持远程控制，如通过系统远程调节空调温湿度设定值、启动纯化水系统消毒程序，减少人员进入洁净区的次数，降低污染风险。此外，系统需具备设备维护提醒功能，根据设备运行时间（如过滤器使用时间、泵运行小时数）自动提醒维护，确保设备长期稳定运行。溧水区电子芯片实验室气体管道系统工程实验室特殊功能区需做专项防护设计，如放射性实验区需加装铅板防护，杜绝辐射泄漏风险。

GMP 洁净实验室排风需根据污染物类型处理：化学有害气体（如酸雾、有机溶剂蒸气）需经处理后排放，酸性气体采用碱液喷淋塔（喷淋液为 20% 氢氧化钠溶液），处理效率≥90%；有机蒸气采用活性炭吸附塔（活性炭填充量按风量确定），吸附效率≥85%，活性炭需定期更换（每 3-6 个月）；生物性排风（含微生物、病毒）需经 H14 高效过滤器过滤，过滤效率≥99.995%，过滤器需定期检漏与更换。所有排风终通过高空排放，排风口高度≥屋顶 2m，且远离新风入口（间距≥10m），避免排风被新风吸入导致二次污染。排风机需选用防爆型（针对有机溶剂排风）或防腐型（针对酸碱排风），风机安装在屋顶或室外机房，避免噪声传入洁净区；风机需设置备用，确保排风系统不间断运行。

GMP 洁净区气路系统安装完成后，需进行严格的吹扫与测试，确保系统洁净度与密封性符合要求。系统吹扫需采用洁净压缩空气或氮气，吹扫压力控制在 0.6-0.8MPa，吹扫时间根据管路长度与管径确定，通常不少于 30 分钟，吹扫过程中需逐个打开各用气点阀门，确保管路内的焊渣、粉尘等杂质被彻底。吹扫完成后，进行系统密封性测试，采用氦质谱检漏法或压力衰减法，对整个气路系统进行检漏，泄漏率需控制在极低的范围内（如≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s）。同时，还需进体纯度测试，在关键用气点取样分析，确保气体纯度符合生产工艺要求。测试过程中需做好详细记录，测试合格后方可投入使用，若发现泄漏或纯度不达标，需及时查找原因并进行整改，直至满足设计标准。实验室安防监控系统需覆盖实验区、危险品储存室等关键区域，配备高清摄像头与录像存储设备。

GMP 洁净区消防设计中，火灾自动报警系统需兼顾火灾探测的及时性与洁净环境的要求。首先，火灾探测器的选型需根据洁净区的环境特点，选用感烟探测器或感温探测器，若洁净区存在粉尘较多的情况，需选用防尘型感烟探测器，避免因粉尘积聚导致误报警。探测器的安装位置需避开气流死角与设备遮挡区域，确保探测范围覆盖整个洁净区，且安装高度符合规范要求（感烟探测器距吊顶距离不大于 150mm）。施工过程中，探测器与吊顶的连接部位需做好密封处理，防止洁净区外的污染空气渗入，同时探测器的布线需穿管暗敷，管材选用镀锌钢管，接口处密封。火灾自动报警控制器需安装在消防控制室，与洁净区的探测器、手动报警按钮等设备形成联动，当探测器检测到火情时，能及时发出报警信号，并联动相关消防设备动作，如切断非消防电源、启动排烟系统等。微生物实验室需采用洁净室设计，控制温湿度与尘埃粒子数，防止微生物污染实验样本!溧水区电子芯片实验室气体管道系统工程

实验室照明设计需满足实验操作照度，选用防眩光灯具，同时配备应急照明系统，应对突发断电情况。 暖通工程。溧水区电子芯片实验室气体管道系统工程

GMP 洁净实验室通风柜需符合《实验室通风柜》（JB/T 6412）要求，按实验风险选型：化学试剂操作选用全钢通风柜，柜体为 1.2mm 冷轧钢板，表面喷涂环氧树脂，耐酸碱腐蚀；生物实验选用 PP 通风柜，柜体为聚丙烯材质，耐有机溶剂与微生物腐蚀；高温实验选用不锈钢通风柜（304 材质），耐温≥400℃。通风柜排风量按开口面积计算，开口高度 0.5m 时，排风量≥1200m³/h，面风速控制在 0.5-0.8m/s，确保有害气体无泄漏。通风柜需配备变风量（VAV）系统，根据柜门开启高度自动调节排风量：柜门全开时风量比较大，半开时风量减少，降低能耗。通风柜控制面板需显示面风速、排风量，风速异常时报警；柜内需设置照明（照度≥300lux）与电源插座（防护等级≥IP54），便于实验操作。溧水区电子芯片实验室气体管道系统工程