江苏实验室检测认真负责

相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤皲裂，呼吸道不适以及情感上的不快。高湿度实际上减小了洁净室表面的静电荷积累──这是人们希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。合格的第三方洁净室检测机构普遍要求要有具体的洁净相关检测。江苏实验室检测认真负责

B.4.3.2送风口处测量的送风量为了排除送风口局部气流的扰动和气流喷射的影响，建议采用风罩测量末端过滤器或送风散流器的总送风量。可使用配有流量计的风量罩直接测量，也可用风罩出风的风速乘以有效面积求出送风量。风罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器；为了避免旁通漏风造成的读数不准，风罩的上沿应密封靠紧平坦的表面。若采用带流量计的风量罩，则可在风罩的出风端口直接测量各个末端过滤器或送风散流器的风量。。。。。。。山东洁净工作台检测技术好尘埃粒子的粒径分布分析有助于评估洁净室的过滤效率。

B.3.3.3.2离散粒子计数器（DPC）测量使用离散粒子计数器测量大粒子的方法与B.1中的空气悬浮粒子计数方法基本相同，不同点只有一处，由于只需要大粒子的计数数据，因此对1μm以下粒子的仪器灵敏度无要求。注意离散粒子计数器的样本需是直接采自采样点的空气；计数器采样管的长度不得超过1m；离散粒子计数器的采样流量至少0.00047m/s。单向流洁净室中，计数器采样口的尺寸应适应等动力采样。在非单向流区域，离散粒子计数器的采样口应朝上，采样口直径应不小于30mm。设定计数器的粒径范围，使其只测量大粒子。为了保证所测粒子的浓度不大于出现重叠误差的浓度，应保留一个低于5μm（见GB/T25915.1-2010中表1）的粒径档。将这个小于5μm粒径档的浓度数据加到大粒径数据中，浓度之和不应超过所用粒子计数器比较大浓度建议值的50%。

B.4.2.2送风风速风速测点距过滤器出风面约150mm~300mm。测点数量应足以测定洁净室和洁净区的送风量，测点数量取测量面积(以平方米计)10倍的平方根,且不少于4个测点。每只过滤器或每台风机-过滤单元(FFU)的出风面上至少要有一个测点。可使用软帘阻挡对单向流的干扰。为了获得可重复的读数,每点的测量时间应足够长。对多个测点而言,应记录风速测量平均时间。B.4.2.2送风风速风速测点距过滤器出风面约150mm~300mm。测点数量应足以测定洁净室和洁净区的送风量，测点数量取测量面积(以平方米计)10倍的平方根,且不少于4个测点。每只过滤器或每台风机-过滤单元(FFU)的出风面上至少要有一个测点。可使用软帘阻挡对单向流的干扰。为了获得可重复的读数,每点的测量时间应足够长。对多个测点而言,应记录风速测量平均时间。洁净室检测中发现的改进机会应纳入持续改进计划中。

洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产、液晶萤幕生产、生化技术、生物技术、精密器械、制药、医院等行业之中，尤其以半导体晶圆制程对无尘等级的要求比较高，因为现今的晶圆已经发展到奈米级的水准，随便一粒灰尘掉落在晶圆上都可能造成整个晶圆线路的毁损，甚至导致这个晶圆必须报废。无尘室除了管控空气中的微尘粒子之外，还分成正压无尘室与负压无尘室。一般正压无尘室比较常见，就是让室内的空气压力大于室外的压力，这样才可以控制室内空气往外吹以杜绝外部的污染源。洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气。浙江洁净工作台检测规范性强

洁净室内使用的化学品和消毒剂需符合相关安全标准。江苏实验室检测认真负责

4、悬浮粒子-微粒计数农度A、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过2人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。B、设备要在校准期内使用。C、检测前和检测后设备“清零”D、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。采样点一般离地面0.8-1.2m左右，要均匀科学布点，而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目都不得少于2个，总采样数可根据面积开2次根求得。江苏实验室检测认真负责