安徽实验室无尘室检测规范性强

1一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5X10↵~1X10°2,摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s;2二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻、对地电阻应为1X10°~1X109Ω,摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V;3三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚、门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面,应符合本条第2款的要求;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V。在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。安徽实验室无尘室检测规范性强

无尘室净化关键功效取决于的操纵商品(如硅集成ic等)所触碰之空气的洁净度等级日及温度湿度，使商品能在一个优良之自然环境室内空间中生产制造、生产制造，此室内空间大家称作洁净净化室。无尘室架构一般可分成三种：不锈钢板铝方通、喷漆铁铝方通及其铝合金型材，顶端及能用不锈钢板、喷漆冷塑钢扣板、抗静电网格图帘及亚克力有机玻璃板等原材料。周边一般全是选用抗静电网格图帘或者有机玻璃板，排风部用均选用FFU的清洁排风模块。安徽实验室无尘室检测规范性强洁净厂房中以水平构件分隔构成的空间,用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。

4.2.1洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等，也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。4.2.2电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间，应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。4.2.3洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定，各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时，宜采用微环境等型式。

12.3.1防火卷帘安装应符合下列规定：1防火卷帘洞口上端至顶棚之间应采用防火墙、不燃或难燃材料封堵。当采用不燃或难燃材料封堵时，其耐火极限应不低于防火卷帘的耐火极限。如防火卷帘采用水幕保护，其封堵材料亦应采用水幕保护。2钢质卷帘的帘板应平直，装配成卷帘后，不应存在孔洞或缝隙。3防火防烟卷帘的导轨内设置的防烟装置的材料应为不燃或难燃材料。防烟装置与帘面应均匀紧密贴合，其贴合面长度不应小于导轨长度的80%。4用于疏散通道上的防火卷帘，其两侧应安装由感烟、感温火灾探测器组成的火灾探测器组合。12.3.2防火门和防火窗的安装应符合下列规定：1安装在防火门和防火窗上的合页、插销等五金配件应是经相关检测机构检验合格的产品。2防火门的开启角度不应小于90°，并应具有在发生火灾时能迅速关闭的功能。无尘室的存在对于许多前沿科技的发展起着至关重要的作用。

无尘车间工程是指按照客户的要求，提供对微粒、有害空气、细菌等污染物的有效控制，温度、湿度、噪声、照度、洁净度、室内压差、气流速度与气流分布、振动、静电等各项指标均满足安全生产需求的洁净受控空间。无尘车间的主要作用在于为产品生产(如硅芯片等)和服务提供所需环境的洁净程度，以及温湿度、微震动、噪声、照度等各项指标，使相关产品和服务能够在一个满足要求的、受控的、良好的环境空间中进行生产和操作，从而达到提高产品生产的良品率，改善和提升相关服务质量的目标。利用高速洁净气流吹落进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。江苏半导体净化车间无尘室检测流程

室内空气的流动形态和分布。安徽实验室无尘室检测规范性强

5.5.6在回、排风口上安有高效过滤器的洁净室及生物安全柜等装备，在安装前应用现场检漏装置对高效过滤器扫描检漏，并应确认无漏后安装。回、排风口安装后，对非零泄漏边框密封结构，应再对其边框扫描检漏，并应确认无漏；当无法对边框扫描检漏时，必须进行生物学等专门评价。5.5.7当在回、排风口上安装动态气流密封排风装置时，应将正压接管与接嘴牢靠连接，压差表应安装于排风装置近旁目测高度处。排风装置中的高效过滤器应在装置外进行扫描检漏，并应确认无漏后再安入装置。安徽实验室无尘室检测规范性强