东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS远程等离子体源,针对柔性电子器件易受损伤的特性,打造了专属低损伤加工方案。柔性电子器件采用聚合物基底,传统加工方式易导致基底褶皱、破裂,而RPS通过远程传输设计,使高能离子在传输过程中被有效过滤,只让中性自由基作用于器件表面,从根本上避免物理损伤。在柔性OLED屏封装工艺中,RPS可精细活化基底表面,提升封装胶的附着强度,同时将基底温度控制在40℃以下,确保器件性能不受影响。RPS支持连续化生产模式,处理速度可达10米/分钟,且加工均匀性控制在±3%以内,完全适配柔性电子的量产需求。目前,该RPS方案已应用于柔性传感器、可穿戴设备等产品的制造,成为柔性电子行业高质量加工的中心RPS装备。在OLED显示面板制造中确保大尺寸基板均匀清洗。重庆国产RPS光伏设备清洗

东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源,是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术,通过单独腔室生成高密度等离子体,经远程传输区筛选后,只让中性自由基进入主工艺腔,从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中,RPS 展现出优越的工艺适配性,无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工,都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节,可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1,满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中,能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内,长时间运行稳定性强,为半导体量产提供可靠保障,成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。湖南远程等离子电源RPS腔室远程等离子源使用工艺气体三氟化氮(NF3)/O2,在交变电场和磁场作用下,原材料气体会被解离,从而释放出自由基。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术,成为新产品研发的 “加速器”,帮助企业缩短研发周期、降低研发成本。在产品设计初级阶段,RPS 通过 3D 打印或 CNC 加工快速制作样品,供设计团队进行外观与结构检验;在功能性测试阶段,RPS 采用与设计材料一致的 CNC 加工试制零件,确保测试结果的准确性;在小批量试产阶段,RPS 快速模具可快速生产接近量产标准的零件,验证市场反馈。RPS 的 ERP 特用软件实现了研发项目的全流程管控,从数据接收、工艺规划到生产交付,每个环节都可实时追踪。通过 RPS 快速模具技术,新产品从研发到上市的时间可缩短 30% 以上,研发成本降低 20% 左右。目前,RPS 已服务于智能装备、机器人等多个领域的新产品研发,成为企业提升市场竞争力的中心 RPS 解决方案。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术,在航空航天小批量零部件生产中展现出独特优势。航空航天领域的部分零部件需求量小、结构复杂、精度要求高,传统模具生产成本高、周期长,而 RPS 快速模具可快速制造模具并生产零件,大幅缩短生产周期,降低成本。RPS 快速模具的加工精度可达 0.01mm,能够满足航空航天零部件的高精度要求;采用的材料具备强度、耐高温等特性,适配航空航天的特殊使用环境。在生产过程中,RPS 通过 ERP 系统进行全流程管控,确保生产进度与质量;严格的保密措施保障了航空航天技术的安全性。目前,RPS 快速模具已应用于航空航天领域的多种小批量零部件生产,成为该领域高效生产的中心 RPS 解决方案。在存储芯片制造中提升介质层可靠性。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS远程等离子体源,在光伏电池钝化工艺中实现重大突破,助力光伏产业提升发电效率。钝化工艺是提升光伏电池开路电压与填充因子的关键环节,RPS通过精细控制等离子体参数,在电池表面形成高质量钝化层,有效减少载流子复合。与传统钝化技术相比,RPS处理后的钝化层均匀性更好,表面态密度降低30%以上,使电池转换效率提升0.5%-1%。RPS支持大尺寸硅片加工,可适配182mm、210mm等主流硅片规格,单台设备每小时可处理2000片以上硅片,满足光伏产业量产需求。在成本控制方面,RPS通过优化气体配比与能量利用,使单位硅片处理成本降低15%。目前,该RPS钝化方案已被多家光伏企业采用,成为提升光伏电池性能的中心RPS装备。在纳米材料转移过程中实现支撑层无损去除。河北国内RPS联系方式
远程等离子的处理作用,是非常轻微的刻蚀,有一定的活性作用,主要与腔室内部的残余气体发生作用。重庆国产RPS光伏设备清洗
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,为文物保护提供了先进的数字化解决方案。文物保护对检测设备的精度与安全性要求极高,RPS 采用非接触式扫描方式,不会对文物造成任何损伤,可安全用于各类文物的数字化采集。RPS 设备的高分辨率扫描能力可精细捕捉文物的纹理、细节与尺寸信息,生成高精度三维数字模型,为文物修复、复制提供准确数据。在文物展览中,RPS 生成的三维数字模型可用于虚拟展览,让观众通过数字终端近距离欣赏文物细节;在文物研究中,研究人员可通过数字模型进行多角度分析,无需接触文物原件。该 RPS 文物数字化方案已应用于多家博物馆与文物保护机构,为文化遗产的传承与保护提供了有力的 RPS 技术支持。重庆国产RPS光伏设备清洗