山东远程等离子体源RPS

东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源，是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术，通过单独腔室生成高密度等离子体，经远程传输区筛选后，只让中性自由基进入主工艺腔，从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中，RPS 展现出优越的工艺适配性，无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工，都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节，可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1，满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中，能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内，长时间运行稳定性强，为半导体量产提供可靠保障，成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。晟鼎RPS自研PEO表面处理工艺，增加PEO膜层使用寿命，降低维护成本。山东远程等离子体源RPS

东莞市晟鼎精密仪器有限公司针对新能源汽车电池壳体检测需求，定制开发了RPS特用检具方案，保障电池包的装配安全性与密封性。新能源汽车电池壳体尺寸大、结构复杂，对平面度、孔位精度要求极高，RPS检具采用模块化设计，通过多个RPS定位基准点实现壳体的稳定支撑与精细定位。检具配备高精度接触式探针与激光传感器，可同时检测壳体的平面度、孔位坐标、壁厚等20余项关键参数，检测精度达0.01mm。RPS检具支持全自动检测流程，机器人自动上下料、自动完成检测，检测节拍只需45秒/件，满足新能源汽车生产线的高效需求。检测数据可实时上传至MES系统，生成追溯报告，为电池壳体质量控制提供数据支撑。该RPS检具方案已应用于多家新能源车企，有效降低了电池包泄漏风险，成为电池安全保障的中心RPS检测工具。远程等离子体源RPS联系方式用于磁性存储器件的精密图形化刻蚀工艺。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，为机器人零部件制造提供了多方位的精度把控方案。机器人零部件的尺寸精度与装配精度直接影响机器人的运动性能，RPS 设备的测量精度可达 0.01mm，能够精细检测齿轮、关节等关键零部件的尺寸偏差。RPS 支持快速批量扫描，可在短时间内完成大量零部件的质量筛查，提高生产效率。在机器人研发阶段，RPS 可扫描竞品零部件，获取三维数据用于设计参考；在量产阶段，RPS 通过实时检测及时调整生产工艺，确保零部件质量一致性。该 RPS 设备可与机器人设计软件无缝对接，生成的三维数据可直接用于设计优化与仿真分析。目前，RPS 已应用于工业机器人、服务机器人等产品的制造检测，成为机器人产业高质量发展的中心 RPS 技术支撑。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术，依托全球化的生产与物流网络，为全球客户提供高效服务。RPS 在中国拥有 5 家自有工厂，并与 9 家质优合作伙伴建立合作关系，生产基地位于深圳、东莞等精密制造中心城市，可快速响应全球客户订单。在物流方面，RPS 与顺丰、DHL、Fedex 等前端物流企业合作，确保产品快速、安全地运往全球各地。针对国际客户，RPS 提供多语言技术支持与售后服务，帮助客户解决使用过程中的问题；通过 ERP 系统，全球客户可实时查询订单进度，掌握生产动态。该 RPS 全球化服务方案已服务于多个国家和地区的客户，成为国际市场上具有竞争力的快速模具 RPS 品牌。远程等离子体源RPS腔体结构，包括进气口，点火口。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS远程等离子体源，在光伏电池钝化工艺中实现重大突破，助力光伏产业提升发电效率。钝化工艺是提升光伏电池开路电压与填充因子的关键环节，RPS通过精细控制等离子体参数，在电池表面形成高质量钝化层，有效减少载流子复合。与传统钝化技术相比，RPS处理后的钝化层均匀性更好，表面态密度降低30%以上，使电池转换效率提升0.5%-1%。RPS支持大尺寸硅片加工，可适配182mm、210mm等主流硅片规格，单台设备每小时可处理2000片以上硅片，满足光伏产业量产需求。在成本控制方面，RPS通过优化气体配比与能量利用，使单位硅片处理成本降低15%。目前，该RPS钝化方案已被多家光伏企业采用，成为提升光伏电池性能的中心RPS装备。为功率电子封装提供低热阻界面。河南RPS哪家强

使用工艺气体三氟化氮（NF3）/O2，在交变电场和磁场作用下，原材料气体会被解离，从而释放出自由基。山东远程等离子体源RPS

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术，在航空航天小批量零部件生产中展现出独特优势。航空航天领域的部分零部件需求量小、结构复杂、精度要求高，传统模具生产成本高、周期长，而 RPS 快速模具可快速制造模具并生产零件，大幅缩短生产周期，降低成本。RPS 快速模具的加工精度可达 0.01mm，能够满足航空航天零部件的高精度要求；采用的材料具备强度、耐高温等特性，适配航空航天的特殊使用环境。在生产过程中，RPS 通过 ERP 系统进行全流程管控，确保生产进度与质量；严格的保密措施保障了航空航天技术的安全性。目前，RPS 快速模具已应用于航空航天领域的多种小批量零部件生产，成为该领域高效生产的中心 RPS 解决方案。山东远程等离子体源RPS