北京国内RPS射频电源

远程等离子体源（Remote Plasma Source，RPS）是一种用于产生等离子体的装置，它通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺。RPS 通过将气体输送到装置中，利用电场或者磁场产生等离子体，然后将等离子体传输到需要处理的表面区域。与传统等离子体源不同的是，RPS 通常不直接接触要处理的表面，而是在一定距离之外产生等离子体，并将等离子体输送到目标表面，因此被称为“远程等离子体源”。远程等离子体源RPS的主要优点在于它可以实现对表面的均匀处理，而且对于一些敏感的表面或者材料，由于远离等离子体，因此减少了对表面的热和化学损伤。此外，远程等离子体源RPS可以被集成到真空处理系统中，使得表面处理和材料改性的工艺更加灵活和高效。RPS技术广泛应用于半导体制造、光伏产业表面处理等领域。北京国内RPS射频电源

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，采用长寿命设计与稳定化技术，确保设备在长时间运行中的可靠性。RPS 设备的中心部件选用品质高工业级材料，经过严格的可靠性测试，使用寿命大幅延长。设备采用等离子体生成与工艺腔解耦设计，减少等离子体波动对设备内部部件的影响，提升运行稳定性。RPS 配备完善的故障诊断系统，可实时监测设备运行状态，及时发现潜在问题并发出预警，便于用户及时维护。在散热设计上，RPS 采用高效散热结构，有效控制设备运行温度，避免因过热导致的性能下降或故障。该 RPS 设备的平均无故障运行时间超过 10000 小时，满足半导体、电子制造等领域的量产需求，成为企业连续生产的可靠 RPS 装备。重庆国内RPS定制适用于特种材料科研开发的超真空表面处理。

RPS远程等离子源采用独特的空间分离设计，将等离子体激发区与工艺处理区物理隔离。在激发腔内通过射频电源将工艺气体（如O2、CF4、N2等）电离形成高密度等离子体，而长寿命的活性自由基则通过输运系统进入反应腔室。这种设计使得RPS远程等离子源能够在不直接接触工件的情况下，实现表面清洗、刻蚀和活化等工艺。在半导体前端制造中，RPS远程等离子源特别适用于栅极氧化前的晶圆清洗，能有效去除有机残留和金属污染物，同时避免栅氧层损伤。其自由基浓度可稳定控制在1010-1012/cm³范围，确保工艺重复性优于±2%。

RPS远程等离子源在航空航天领域的应用：航空航天组件常使用高温合金或复合材料，其制造过程需要高精度清洁。RPS远程等离子源能够去除油脂、氧化物或其他污染物，确保涂层或粘接的可靠性。在涡轮叶片涂层沉积前，使用RPS远程等离子源进行表面处理，可以提升涂层的附着力和耐久性。其低损伤特性保护了精密部件，避免了疲劳寿命的降低。随着航空航天标准日益严格，RPS远程等离子源成为确保组件性能的关键技术。金属部件的腐蚀常始于表面污染物或缺陷。RPS远程等离子源可用于清洁和活化金属表面，提升防护涂层（如油漆或电镀）的附着力。其均匀的处理确保了整个表面的一致性，避免了局部腐蚀。在汽车或海洋工程中，采用RPS远程等离子源预处理部件，可以明显 延长其使用寿命。此外，其环保过程减少了化学清洗剂的使用，降低了环境 impact。在声学器件制造中提升谐振性能。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术，成为新产品研发的 “加速器”，帮助企业缩短研发周期、降低研发成本。在产品设计初级阶段，RPS 通过 3D 打印或 CNC 加工快速制作样品，供设计团队进行外观与结构检验；在功能性测试阶段，RPS 采用与设计材料一致的 CNC 加工试制零件，确保测试结果的准确性；在小批量试产阶段，RPS 快速模具可快速生产接近量产标准的零件，验证市场反馈。RPS 的 ERP 特用软件实现了研发项目的全流程管控，从数据接收、工艺规划到生产交付，每个环节都可实时追踪。通过 RPS 快速模具技术，新产品从研发到上市的时间可缩短 30% 以上，研发成本降低 20% 左右。目前，RPS 已服务于智能装备、机器人等多个领域的新产品研发，成为企业提升市场竞争力的中心 RPS 解决方案。为光学镜头镀膜前提供超洁净表面处理条件。湖南晟鼎RPS石墨舟腔体清洗

在超导腔处理中实现原子级洁净表面制备。北京国内RPS射频电源

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，在航空航天维修领域发挥着重要作用，成为故障检测的中心工具。航空航天设备维修中，需精细检测零部件的磨损、变形等故障情况，RPS 设备的高分辨率扫描能力可清晰捕捉零部件表面的细微损伤。RPS 采用非接触式扫描方式，不会对受损零部件造成二次伤害，适用于精密部件的故障检测。在维修过程中，RPS 可扫描受损零部件，生成三维数据与原始设计模型进行比对，精细分析故障原因与损伤程度，为维修方案制定提供依据。该 RPS 设备便携性强，可在维修现场灵活使用，无需将大型零部件搬运至检测中心，大幅缩短维修周期。目前，RPS 已应用于飞机发动机、机身结构等关键部件的维修检测，为航空航天设备的安全运行提供了可靠的 RPS 技术保障。北京国内RPS射频电源