光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位,其成本约占IC制造工艺的20-30%,光刻胶去胶效果太弱影响生产效率,去胶效果太强容易造成基底损伤,影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶,成本低效率高,但随着技术不断选代更新,越来越多IC制造商开始采用干法式去胶,干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺,它不需要浸泡化学溶剂,也不用烘干,去胶过程更容易控制,避免过多算上基底,提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶,其原理同等离子清洗类似,主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶,由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的,主要的气体为氧气、氩气等,通过射频产生氧离子,轰击清洗物件,以获得表面光滑的较大化,并且结果是亲水性增大。在喷涂UV绝缘材料之前,通过等离子表面处理可以粗化电芯铝壳表面,提高其表面附着力。福建真空等离子清洗机厂家
等离子清洗工艺具有效果明显、操作简单的优点,在电子封装(包括半导体封装、LED封装等)中得到了广泛的应用。LED封装工艺过程中,芯片表面的氧化物及颗粒污染物会降低产品质量,如果在封装工艺过程中的点胶前、引线键合前及封装固化前进行等离子清洗,则可有效去除这些污染物。LED封装工艺在LED产业链中,上游为衬底晶片生产,中游为芯片设计及制造生产,下游为封装与测试。研发低热阻、优异光学特性、高可靠的封装技术是新型LED走向实用、走向市场的必经之路,从某种意义上讲封装是连接产业与市场之间的纽带,只有封装好才能成为终端产品,从而投入实际应用。LED封装技术大都是在分立器件封装技术基础上发展与演变而来的,但却与一般分立器件不同,它具有很强的特殊性,不但完成输出电信号、保护管芯正常工作及输出可见光的功能,还要有电参数及光参数的设计及技术要求,所以无法简单地将分立器件的封装用于LED。福建真空等离子清洗机厂家等离子清洗机属于干式工艺,无需添加化学药剂,无废水排放,对环境无污染,完全符合节能和环保的需求。
等离子体技术的特点是不分材料的几何形状和类型,均可进行PlaSMA等离子处理,对金属、半导体、氧化物、PET纤维、PDMS、PTFE、ITO/FTO导电玻璃、硅片和大多数高分子材料,如液晶高分子、聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、聚四氟乙烯和石墨烯粉末、金属氧化物粉末、聚乙二醇粉末、碳黑粉末、碳纳米管粉末、硼粉、铝粉、荧光粉等都能很好地处理,可实现整体和局部以及复杂结构的清洗、活化、改性、蚀刻。选择适合的等离子清洗机能保证材料表面不被损伤,也能提升材料物理和化学性能。
大气射流等离子清洗机结构简单,安装方便,可对塑料、橡胶、金属、玻璃、陶瓷、纸质等材料进行表面处理,已经广泛应用于印刷、包装、电子、汽车等行业。大气射流等离子清洗机分为大气射流直喷式等离子清洗机和大气射流旋转式等离子清洗机。大气射流直喷式等离子清洗机射出的等离子体能量集中,温度偏高,比较适合处理点状和线状,对温度不是非常敏感的材料表面,根据其喷头大小可以处理的宽度为2-15mm。大气射流旋转式等离子清洗机射出的等离子体比较分散,温度适中,比较适合处理面状,对温度有点敏感的材料表面,根据其旋转喷头大小可以处理的宽度为20-90mm。通常我们接触到得到等离子的方式有三种:高温(燃烧)、高压或者高频、高压源(等离子电源)下产生。
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。金手指是指液晶屏与电路板或其他器件之间进行电气连接的重要部分。通过金手指的邦定,液晶屏能够接收到来自电路板的信号和数据,实现图像的显示和控制。在邦定前通过真空等离子处理可以有效提高其表面能,增强附着性,有利于减少虚焊、脱焊等问题,提高金手指与液晶屏或其他连接器件之间的连接强度,从而提升连接的可靠性。大气等离子清洗机适用于各种平面材料的清洗活化,可定制大气等离子流水线设备。福建真空等离子清洗机厂家
在线式等离子清洗机的清洗过程是在真空环境中进行的,不会对人体和环境产生污染。福建真空等离子清洗机厂家
汽车储物盒在做静电植绒时,通常会在基材上胶前加上一层底涂,以使胶水与储物盒的粘接性更好。采用等离子体表面处理技术来替代上胶前的上底涂工艺,不仅可以活化表面提高粘接力,而且还能降低成本,工艺更加环保。为确保汽车车灯的长期使用寿命,必须对它们进行有效保护,防止水分进入。所以在车灯内胶条(凹槽深20mm)粘接工艺前可使用大气射流等离子进行表面活化,提高胶水的黏附性能,从而确保车灯的可靠粘接和长期密封。在汽车挡风玻璃上面印刷油墨或粘接物件,为取得必要的粘结力,通常会用化学底涂方式来处理表面,这些底涂层含有易挥发的溶剂,一定程度上在以后车辆的使用中会散发出来。使用等离子处理可以对玻璃表面进行活化处理,提高粘接性和可靠性,而且更加环保。福建真空等离子清洗机厂家