随着集成电路技术的发展,半导体封装技术也在不断创新和改进,以满足高性能、小型化、高频化、低功耗、以及低成本的要求。等离子处理技术作为一种高效、环保的解决方案,能够满足先进半导体封装的要求,被广泛应用于半导体芯片DB/WB工艺、Flip Chip (FC)倒装工艺中。芯片键合(DieBonding)是指将晶圆上切割下来的单个芯片固定到封装基板上的过程。其目的在于为芯片提供一个稳定的支撑,并确保芯片与外部电路之间的电气和机械连接。常用的方法有树脂粘结、共晶焊接、铅锡合金焊接等。在点胶装片前,基板上如果存在污染物,银胶容易形成圆球状,降低芯片粘结度。因此,在DB工艺前,需要进行等离子处理,提高基板表面的亲水性和粗糙度,有利于银胶的平铺及芯片粘贴,提高封装的可靠性和耐久性。在提升点胶质量的同时可以节省银胶使用量,降低成本。等离子清洗机是一种环保高效的表面处理设备,通过激发气体产生等离子态,去除材料表面污染物。贵州宽幅等离子清洗机设备
等离子清洗机的工作原理基于等离子体技术,即在真空室内通过放电产生等离子体,利用等离子体中的高能粒子和自由基等活性物质对样品表面进行清洗和改性。等离子体是由气体分子在高能电场下电离而形成的一种带电粒子云体系,包含了大量的自由基、离子、电子等活性物质。当样品置于等离子体中时,这些活性物质会与样品表面发生反应,从而清理表面污垢和有机物,并在表面形成一层新的化学官能团,实现表面改性。相比传统的化学清洗方法,等离子清洗机具有干式清洗、无需化学溶剂、绿色环保、温度低避免热损伤等优势,能够在不损伤样品表面的前提下,实现高效、彻底的清洗和改性。山西晟鼎等离子清洗机欢迎选购在线式等离子清洗机的清洗过程是通过等离子激发来实现的。
等离子清洗机的应用领域极为广,几乎涵盖了所有需要表面清洗和改性的行业。在半导体与光电子行业中,等离子清洗机被用于去除晶圆表面的有机污染物、颗粒、金属杂质等,提高器件的良率和性能;在汽车零部件制造中,等离子清洗机用于清洗发动机缸体、活塞、喷油嘴等部件,去除油污、油脂等污染物,提高零件的清洁度和性能;在医疗器械领域,等离子清洗机则用于手术器械、植入物、牙科器械等的清洗和消毒,确保无菌性和安全性。此外,等离子清洗机还在生物材料表面改性、飞机零部件清洗、航空电子设备清洗、精密机械零件清洗等多个领域发挥着重要作用。随着工业化、信息化的发展,等离子清洗机的市场需求持续增长,特别是在半导体、汽车、医疗等行业中,其应用前景更加广阔。
等离子清洗机在IC封装中的应用:塑封固化前:IC封装的注环氧树脂过程中,污染物的存在还会导致气泡的形成,气泡会使芯片容易在温度变化中损坏,降低芯片的使用寿命。所以,避免塑封过程中形成气泡同样是需解决的问题。芯片与基板在等离子清洗后会更加紧密地和胶体相结合,气泡的形成将减少,同时也可以显著提高元件的特性,引线键合前:芯片在引线框架基板上粘贴后,要经过高温固化,如果这时上面存在污染物,这些氧化物会使引线与芯片及基板之间焊接效果不完全或黏附性差,影响键合强度。等离子清洗运用在引线键合前,会显著提高其表面活性,从而提高键合强度及键合引线的拉力均匀性。在IC封装工艺过程中,芯片表面的氧化物及颗粒污染物会降低产品质量,如果在封装工艺过程中的装片前引线键合前及塑封固化前进行等离子清洗,则可有效去除这些污染物。宽幅等离子适用于各种平面材料的清洗活化,搭配等离子发生装置,可客制化宽幅线性等离子流水线设备。
等离子清洗机正朝着更加智能化、高效化、绿色化的方向发展。一方面,智能化技术的引入将使得等离子清洗机具备更强的自动化控制和远程监控能力,能够根据不同工件的材质、形状和污染程度自动调节清洗参数,实现准确清洗和高效作业。另一方面,高效化设计将进一步提升等离子清洗机的清洗效率和清洗质量,缩短清洗周期,降低能耗和成本。同时,绿色化理念将贯穿等离子清洗机的整个生命周期,从材料选择、生产制造到使用维护、废弃处理都将遵循环保原则,减少对环境的影响。未来,随着新材料、新能源、生物技术等新兴领域的不断崛起,等离子清洗机将面临更多的应用机遇和挑战。通过不断创新和技术升级,等离子清洗机将在更多领域发挥其独特优势,为推动科技进步和社会发展做出更大贡献。此外,随着人们对产品质量和环境保护要求的不断提高,等离子清洗技术也将逐渐得到更广泛的应用和认可,成为未来表面处理领域的重要发展方向之一。等离子清洗机活化可确保对塑料、金属、纺织品、玻璃、再生材料和复合材料进行特别有效的表面改性。福建低温等离子清洗机品牌
等离子清洗机对所处理的材料无严格要求,无论是金属、半导体、氧化物,都能进行良好的处理。贵州宽幅等离子清洗机设备
芯片在引线框架基板上粘贴后,要经过高温使之固化。如果芯片表面存在污染物,就会影响引线与芯片及基板间的焊接效果,使键合不完全或粘附性差、强度低。在WB工艺前使用等离子处理,可以显著提高其表面附着力,从而提高键合强度及键合引线的拉力均匀性,提升WB工艺质量。在FlipChip(FC)倒装工艺中,将称为“焊球(SolderBall)”的小凸块附着在芯片焊盘上。其次,将芯片顶面朝下放置在基板上,完成芯片与基板的连接后,通常需要在在芯片与基板之间使用填充胶进行加固,以提高倒装工艺的稳定性。通过等离子清洗可以改善芯片和基板表面润湿性,提高其表面附着力,进而影响底部填充胶的流动性,使填充胶可以更好地与基板和芯片粘结,从而达到加固的目的,提高倒装工艺可靠性。贵州宽幅等离子清洗机设备