罗茨真空泵的抽气速率覆盖范围广(10-10000m³/h),其明显特点是在10⁴-10⁰Pa区间具有平坦的抽速曲线,抽速波动通常小于10%。这种“恒抽速”特性使其成为中真空阶段的理想提速设备,常与前级泵组成复合机组。罗茨机组的抽速与转速成正比(在额定转速范围内),通过变频调速可实现抽速的无级调节。在化工蒸馏系统中,采用罗茨-水环复合机组比单一水环泵的抽速提高3倍,将蒸馏时间从8小时缩短至3小时,同时降低了物料受热分解的风险。但需注意,罗茨泵不能单独工作,必须与前级泵匹配——当前级泵抽速不足时,会导致罗茨泵过载,甚至引发机械故障。华中真空拥有专业的技术人才,专业的销售人才及成熟的推广应用技术和可靠的市场服务体系。广东罗茨旋片真空机组

单级旋片泵的抽气速率一般为1-200L/s,双级泵可达0.5-100L/s,其抽速曲线在10³-10⁻¹Pa区间保持稳定。旋片泵的抽速受泵油状态影响较大,油污染会导致抽速下降——当油中含水量超过5%时,抽速可降低20%以上。在实验室真空系统中,旋片机组因结构紧凑、抽速稳定被广泛应用。某材料实验室的真空烧结炉采用双级旋片泵(抽速20L/s),配合扩散泵组成高真空系统,在10⁻³Pa时仍能保持稳定抽速,满足陶瓷材料烧结的工艺要求。但在处理含氧量高的气体时,需选用抗氧化泵油,否则会因油膜失效导致抽速衰减。天津水环真空机组批发淄博华中真空设备有限公司坚持把质量管理作为工作重点,严抓基础管理。

离子泵无油污染、极限真空度高,可达10^-7-10^-12Pa,适用于超高真空环境,如半导体制造中的光刻、电子显微镜等设备,但价格较高、抽气速率相对较小。吸附泵利用多孔吸附剂材料(如分子筛、活性炭等)吸附气体分子来降低空间内气体压强。工作时,吸附剂对不同气体分子有选择性吸附作用,将气体分子捕获在其孔隙表面。吸附泵常用于获取中真空环境,范围为10^3-10^-2Pa,在一些对真空度要求不高且需快速建立真空的场合应用,如实验室小型真空系统。其优点是结构简单、无运动部件、无油污染,但吸附容量有限,需定期再生吸附剂以维持性能。
泵内有蒸发器、喷嘴、冷凝器等部件。工作时,油或汞在蒸发器中被加热沸腾,产生的蒸气经喷嘴高速喷出,形成超音速射流。气体分子与高速蒸气分子碰撞,获得向泵壁方向的动量,被带到泵的下部,经冷凝器冷却后,蒸气凝结回流至蒸发器,气体则被前级泵抽走。扩散泵无机械运动部件,运行平稳,可达到高真空度,范围为10^-1-10^-6Pa,但需搭配前级机械泵使用,且对冷却系统要求高,常用于电子管制造、真空镀膜等行业。离子泵工作原理基于气体电离与离子吸附。泵内有阴极、阳极和磁场。在高真空环境下,施加高电压使气体分子电离,产生的离子在电场和磁场作用下加速运动,撞击阴极表面的钛等活性金属,被吸附在阴极上,从而降低空间内气体分子密度。华中真空多年来“以质量为先导,以微利求生存”,重合同,守信用。

牵引分子泵:牵引分子泵工作原理基于气体分子与泵内高速旋转部件表面的相互作用。其转子表面有特殊形状沟槽或螺纹,当转子高速旋转时,气体分子因与转子表面碰撞,被“牵引”向排气口方向移动,实现抽气过程。与涡轮分子泵相比,牵引分子泵结构相对简单,对气体负载适应性好,同样适用于高真空和超高真空环境,在一些对设备体积、重量有要求的场合应用,如小型超高真空实验装置,极限真空度可达10^-8-10^-10Pa。水环泵主要由叶轮、泵体、密封装置等组成。叶轮偏心安装在泵体内,启动前泵内注入一定量水。淄博华中真空设备有限公司精心组织,全心管理,严格执行产品技术标准。天津水环真空机组批发
华中真空设备配套性强、特点突出、适应性好,在激烈的市场竞争中得到了客户的认同。广东罗茨旋片真空机组
高真空,10⁻¹Pa-10⁻⁶Pa,深度抽除残余气体,控制气体分子碰撞,扩散泵机组、涡轮分子泵-旋片泵组合机组,真空镀膜(10⁻³-10⁻⁵Pa)、电子束焊接(10⁻³-10⁻⁴Pa)、真空冶炼(10⁻²-10⁻⁴Pa)。超高真空,<10⁻⁶Pa,降低气体分子密度,控制材料放气,涡轮分子泵-离子泵组合机组、低温泵机组,半导体光刻(10⁻⁸-10⁻¹⁰Pa)、航天环境模拟(10⁻⁹-10⁻¹¹Pa)、量子物理实验(10⁻¹⁰-10⁻¹²Pa)。这种适配关系源于机组的重点性能——水环泵在10⁵-10³Pa区间抽速稳定但受限于水蒸气压;罗茨泵在10⁴-10⁰Pa可明显提升抽速;涡轮分子泵则在10⁻¹Pa以下展现优势。广东罗茨旋片真空机组