福建罗茨旋片真空机组

罗茨真空泵机组以罗茨泵为主泵，通常搭配旋片式真空泵或水环泵作为前级泵，辅以管道、阀门、真空测量仪表及控制系统构成完整系统。其重点部件罗茨泵属于容积式机械泵，由两个8字形转子、泵体、齿轮箱等组成，转子间及转子与泵体间保持微小间隙（通常0.1-0.2mm），运转时无接触摩擦，无需润滑介质。这种结构设计使其具备抽气速率稳定、适应性强的特点，尤其适合处理含有少量粉尘或可凝性气体的工况。罗茨真空泵机组的工作过程遵循“分级增压抽气”逻辑。启动时，前级泵首先运行，将系统压力从大气压降至10³Pa以下——这是罗茨泵的安全启动阈值。华中真空设备依托先进的生产技术、强大的科研队伍、健全的销售网络和完善的售后服务。福建罗茨旋片真空机组

选型时需明确“工作压力”与“机组极限真空”的关系：机组极限真空必须低于工作压力至少一个数量级。例如，工作压力为100Pa时，机组极限真空需≤10Pa；工作压力为1×10⁻⁵Pa时，机组极限真空需≤1×10⁻⁶Pa。这是因为机组在接近自身极限真空时，抽速会急剧下降，无法维持稳定的压力控制。选型的第一步是精细获取工艺的工作压力参数，具体操作包括：查阅工艺文件：确定额定工作压力（如“真空干燥需50Pa”）；分析压力波动容忍度：明确允许的较大偏差（如“焊接过程压力波动不超过±2Pa”）；评估动态压力变化：判断工艺是否存在压力突变（如“物料投入时压力瞬间升至1000Pa”）。福建罗茨旋片真空机组华中真空设备贯彻并践行“质量是生命，信誉是保证”的经营原则，确保高质量产品的同时，诚信服务客户。

高真空，扩散泵机组、涡轮分子泵-旋片组合机组，真空镀膜（1×10⁻³-1×10⁻⁵Pa）、电子束焊接（1×10⁻⁴-5×10⁻⁴Pa），＜1×10⁻⁶Pa，超高真空，涡轮分子泵-离子泵组合机组、低温泵机组，半导体光刻（1×10⁻⁸-1×10⁻¹⁰Pa）、航天环境模拟（1×10⁻⁹-1×10⁻¹¹Pa），这种对应关系的本质是机组的“有效工作区间”——每种机组都有其压力-抽速曲线的稳定段，如罗茨泵在1000-1Pa区间抽速波动小于10%，而在10000Pa以上抽速会明显下降。

单级旋片泵的抽气速率一般为1-200L/s，双级泵可达0.5-100L/s，其抽速曲线在10³-10⁻¹Pa区间保持稳定。旋片泵的抽速受泵油状态影响较大，油污染会导致抽速下降——当油中含水量超过5%时，抽速可降低20%以上。在实验室真空系统中，旋片机组因结构紧凑、抽速稳定被广泛应用。某材料实验室的真空烧结炉采用双级旋片泵（抽速20L/s），配合扩散泵组成高真空系统，在10⁻³Pa时仍能保持稳定抽速，满足陶瓷材料烧结的工艺要求。但在处理含氧量高的气体时，需选用抗氧化泵油，否则会因油膜失效导致抽速衰减。淄博华中真空设备有限公司坚持把质量管理作为工作重点，严抓基础管理。

旋片真空泵机组通常由单级或双级旋片泵为主泵，根据需求可搭配扩散泵组成高真空系统，基本配置包括泵体、转子、旋片、油雾分离器及真空阀门。重点部件旋片泵的转子偏心安装在定子腔内，转子槽内的旋片在弹簧力和离心力作用下紧贴定子内壁，将泵腔分隔为吸气和排气两个单独区域。泵腔内填充真空泵油，既作为密封介质又实现润滑冷却，油膜厚度通常保持在0.01-0.03mm，确保在低压下仍能有效密封。旋片机组的工作遵循“变容压缩”原理。启动后，转子旋转使吸气腔容积周期性扩大，形成负压吸入气体；当旋片转过吸气口后，气体进入压缩阶段，容积逐渐缩小使压力升高；当压力超过大气压时，排气阀被推开将气体排出。面对变幻莫测的市场，只有客户的价值得到体现，才是华中真空设备的体现。济宁真空机组设备

淄博华中真空设备有限公司始终坚持以人为本的原则，人才是公司财富的理念。福建罗茨旋片真空机组

超高真空机组：针对超高真空度（10^-6-10^-12Pa），如半导体制造中的光刻设备，需采用多级泵组合，如机械泵-涡轮分子泵-离子泵。先由机械泵预抽，再经涡轮分子泵提升真空度，之后启动离子泵，将真空度提升至10^-9-10^-12Pa。工作时，各泵按严格顺序启动，且运行过程中需精确控制，防止外界气体进入，保证光刻过程中芯片制造精度。真空泵性能是决定真空机组真空度关键因素。不同类型真空泵极限真空度和抽气速率差异明显。如旋片泵极限真空度一般在10^-2-10^-3Pa，抽气速率相对较小；而涡轮分子泵极限真空度可达10^-11Pa，抽气速率大。福建罗茨旋片真空机组