浙江无油干式真空泵厂家

在多晶硅制备、半导体刻蚀等工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，除半导体的某些产品需要微粒的工艺外，一般不希望微粒混入泵油中，而希望将微粒排出泵外，干式螺杆真空泵能够满足要求。常用真空泵包括干式螺杆真空泵，水环泵往复泵，滑阀泵旋片泵，罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力，近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。华中真空设备生产条件完善，检测手段完整齐全，值得信赖！浙江无油干式真空泵厂家

其中螺杆干式真空泵优点明显，螺杆真空泵结构紧凑，泵腔无油，转子与转子之间、转子与泵腔之间没有接触，能够应用于复杂的工作环境，运行可靠，寿命长。在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异，因此可以将干式真空泵归纳为以下几种类型：圆裂片式、爪式、组合式（罗茨+爪）、螺杆式，其中前面三种被称为多级泵。在石油、化工、生物制药领域，由于泵腔内无油无水，对所抽气体介质无污染，干式螺杆真空泵一般用做无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。德州干式真空泵价格华中真空设备制订了严格的管理制度，并在公司内部渗透，明确了质量方针，进而设立品质保证机制。

华中干式真空泵国内行业现状：爪式真空泵既是容积式真空泵的一种，同时也是一种干式真空泵。爪泵结构简单、运行平稳、可靠性高、后期维护简单和清洁度高。其干式真空泵的应用是宽泛的，可用于多晶硅制备工艺、半导体刻蚀工艺，还有化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等领域也适合使用干式真空泵。截至目前，发达国家的半导体相关产业已全部使用干式真空泵，我国近年来也呈现明显的干式真空泵替代油泵的趋势，国内的品质半导体行业已基本使用干式真空泵。

以甲苯为例，在1mmHg真空条件下，甲苯的冷凝温度为0℃，要在真空端冷凝甲苯，就必须使用-15℃以下的冷媒，由于换热温差小，需要很大冷凝换热面积才能有效冷凝回收甲苯，而甲苯在常压下，冷凝温度为110℃，只需要使用循环水和较小的冷凝换热面积就可有效冷凝回收甲苯，溶剂回收率一般都可提高到96%以上。非干式真空泵一般可分为油式真空泵、水循环真空泵。非干式真空泵共同点是它需要借助其他的物质（如水和油）达到理想的真空度，在实验室中使用多的是油式旋片泵，一般和冻干机、真空干燥箱等配套使用。山东华中以优良的品质、束越的特性和完善的售后服务体系，得到客户的认可和支持！

根据工艺具体情况，或许不一定非要用水做工作液，因此或能做到接近零排放，在耐腐蚀有保障的前提下，更加接近于干式真空泵的排放情况。实验室用的真空泵如何选择？先要了解真空泵的用途，抽取的气体是否有腐蚀性。一般过滤样品，可选择无油式真空泵。试剂纯化，则需要选择耐腐蚀真空泵；其次从真空泵配置在其他仪器设备的考虑。如果用于配置旋转蒸发仪就得使用耐腐蚀真空泵，旋蒸挥发的气体都带有一定的腐蚀性；如果是用于干燥箱，可以选择真空比较高的真空泵，比如非干式真空泵中的油泵。华中真空设备在“和谐共赢、创造发展”的服务理念指引下，与您携手打造行业可信品牌！浙江无油干式真空泵厂家

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螺杆真空泵除了拥有干式真空泵的优点，还有结构紧凑、气体通路短、多相混输等独特的优点。干式真空泵市场规模增长的主要驱动因素来自于制药业，制药企业利用干式真空泵在药品、中间体、原料的制造过程中保持适宜的反应环境，以及用于不断增长的新药研发活动。亚太地区是干式真空泵市场增速较快的区域，主要驱动因素是持续增长的半导体和电子产业发展。干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、刻蚀、CVD、原子层沉积（ALD）、封装、测试等清洁或严苛制程。受益于近年来集成电路产业的稳定增长，干式真空泵产业也保持着持续稳步的发展态势。浙江无油干式真空泵厂家