上海电子级气动泵型号参数表

洁净车间管路内部颗粒物管控十分严格,电子级气动泵配套管路所有元件都要控制杂质析出,快插接头一体成型工艺可减少加工缝隙,降低碎屑脱落概率,意米克流体科技(上海)有限公司配套电子级气动泵的接头出厂均经过多道无尘冲洗工序。接头成型阶段无脱模剂残留,密封件采用高纯 PTFE 材质,接触超纯水、光刻药液时不会析出微量杂质污染介质,适配晶圆制造高洁净管控工序。快插接头外部结构平整,无尘布擦拭即可清理表面粉尘,接头拼接位置无死角堆积灰尘,日常洁净维护操作简单。搭配意米克流体 L25、L40 型电子级气动泵用于大流量纯水循环回路时,大通径接头减少水流冲击产生的细微颗粒,管路整体洁净度稳定,降低过滤器滤芯堵塞频次,延长滤芯更换周期,减少耗材采购与更换带来的产线停工损耗。实验室分析仪器内置电子级气动泵，搭配迷你快插接头简化仪器内部管路布局。上海电子级气动泵型号参数表

电子车间废液收集桶位置会根据产线布局调整,电子级气动泵与废液桶之间管路长度时常变化,加长款快插接头可适配不同间距管线对接,意米克流体科技(上海)有限公司废液输送电子级气动泵配套多规格加长快插接头,适配设备与废液桶间距差异。加长接头两端均可插接高纯软管,调整软管长度后直接对接泵出口与废液桶管路,不用裁剪、拼接多段管线减少转接渗漏点位。接头耐混合废液腐蚀,酸碱、有机废液交替流过不会出现材质破损,密封结构隔绝废液滴落污染车间地面。产线调整废液桶摆放位置时,只更换适配长度软管搭配加长快插接头,不用改动电子级气动泵固定安装点位,产线布局调整工程量更小,快速恢复废液回收输送作业。上海电子级气动泵型号参数表间歇性运行的电子级气动泵搭配耐磨快插接头，频繁启停不会加速密封件损耗速度。

电子级气动泵流量依靠进气压力无级调节,调压阀与泵体之间的管路连接件需要维持稳定气流,快插接头流通阻力小,不会阻碍气流传输,保障压力调节信号快速传递至泵体隔膜,意米克流体科技(上海)有限公司会建议客户在调压阀前后均搭配快插接头。调压阀前端快插接头连接供气主管,后端接头接驳电子级气动泵进气口,操作人员可随时拆分接头更换调压阀、清理过滤滤芯,不用关停整条产线气源。快插接头内部流道平滑无凸起,气流通过时压力损耗数值偏低,小幅调节调压阀开度就能改变电子级气动泵往复频率,精确适配不同工序所需介质输送流量。配套接头耐干燥无油压缩空气长期冲刷,内部密封件不会快速老化,搭配意米克流体中大流量电子级气动泵用于晶圆主药液输送回路,长时间连续运作气流稳定,流量波动幅度小,保障光刻、清洗工序介质供给均匀。

电子级气动泵气源前端会加装干燥过滤器,过滤压缩空气中水分、粉尘杂质,过滤器两端管路搭配快插接头便于定期拆卸更换滤芯,意米克流体科技(上海)有限公司流体方案内过滤器、调压阀、电子级气动泵全部通过快插接头串联组装。操作人员关停气源泄压后,按压两端快插接头锁套拆分过滤器管线,取出内部滤芯更换全新配件,更换完成后直接插接恢复气源通路,整套滤芯更换流程无需改动主管路。快插接头密封结构隔绝外界粉尘进入气源管路,过滤后干燥洁净空气稳定输送至电子级气动泵,避免水汽、粉尘进入泵腔磨损隔膜部件,延长泵内易损件使用周期。企业运维人员可建立滤芯更换周期台账,搭配快插接头便捷拆装特性,按时完成气源过滤系统保养,保障电子级气动泵长期稳定运行。电子级气动泵日常巡检只需查看快插接头连接处，即可快速判断管路是否存在渗漏。

电子级气动泵整套流体系统耗材包含隔膜、密封圈、快插接头密封环三类主要易损件,意米克流体科技(上海)有限公司会将快插接头密封件纳入配套耗材清单,方便客户同步采购储备。快插接头密封环损耗速度低于泵体隔膜,更换隔膜作业时可同步检查接头密封环弹性状态,出现硬化、划痕直接更换,避免后期单独检修管路渗漏重复停工。密封环规格统一适配全系配套快插接头,单种密封环可替换直通、弯头、三通各类接头配件,客户耗材库存品类简化,采购、仓储管理工作量降低。运维人员更换密封环无需拆分整条管路,只按压锁套取出软管即可更换接头内部密封件,更换完成后插接软管复检密封性,整套操作耗时短,搭配意米克流体各型号电子级气动泵长期稳定维持管路密封状态,减少介质渗漏引发的各类产线故障。小型快插接头适配小流量 L10 型电子级气动泵，适配设备内部狭小腔体管路布线。上海电子级气动泵型号参数表

意米克流体针对海外产线客户，提供适配国际管路标准的快插接头搭配电子级气动泵。上海电子级气动泵型号参数表

电子级气动泵无需引水即可完成吸料作业,负压吸料管路连接可靠性直接决定吸料高度,真空适配快插接头双层密封结构可维持管路负压稳定,避免气体倒灌降低吸料效率,意米克流体科技(上海)有限公司负压工况流体方案均配套专属真空快插接头,适配旗下所有电子级气动泵。接头插接到位后形成完整密封腔,吸料阶段外界空气无法渗入管路,电子级气动泵可达到设计吸程,稳定吸取桶底低液位药液、粉体浆料。快插接头拆装便捷,定期清理吸料管路底部沉淀杂质时,拆分泵与料桶之间管线,冲洗管路沉淀后重新插接,整套操作单人即可完成,无需借助辅助工具。接头适配 PFA 真空软管,软管弯折后依旧与接头紧密锁合,负压状态下不会出现软管收缩漏气,搭配意米克流体电子级气动泵用于粉体、低粘度药液负压输送工序,吸料持续稳定无断流情况。上海电子级气动泵型号参数表

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