国产化浪潮下，水导激光赋能碳化硅产业链自主升级

国内第三代半导体产业正处在快速发展周期，碳化硅从衬底材料逐步向下游零部件、光学元器件延伸。但产业链想要真正自主可控，不只是实现碳化硅基材本土制造，精密加工环节的装备、工艺配套同样不可或缺。过去水导激光这类 精密加工装备长期被海外厂商占据，设备采购价格高，备件供货周期长。中科煜宸深耕国产化水导激光技术，搭建完整工艺数据库，为碳化硅新材料加工提供本土解决方案，助力产业链升级。

碳化硅材料国产化已经取得长足进步，国内多家企业可以实现碳化硅陶瓷、碳化硅衬底的量产。但材料生产出来之后，如何把毛坯基材加工成合格匀气盘、光学镜片、结构件，成为很多零部件企业遇到的现实门槛。 硬脆材料精密加工装备供给不足，部分复杂结构加工依赖海外设备，一定程度制约新品研发迭代速度。

水导激光技术诞生于上世纪九十年代，海外企业较早完成装备商业化，长期占据市场主要份额。进口设备不 采购成本高昂，后期喷嘴、密封件等易损件采购周期漫长。国内企业开展新材料工艺迭代，需要反复调试参数，如果设备掌握在外方手中，工艺数据积累、试样迭代都会受到制约。实现水导激光装备与工艺国产化，能够让国内碳化硅制造企业拥有就近工艺开发条件，快速完成样品打样、参数迭代。

中科煜宸作为国内较早布局水导激光国产化的企业，完成 RJ 系列多款水导激光装备研发制造，覆盖小试样研发到中小批量加工不同场景需求，建立包含碳化硅在内大量硬脆材料工艺数据库。企业不需要完全自行摸索参数，可依托已有工艺积累快速开展试样验证。从已落地案例来看，在碳化硅匀气盘微孔、碳化硅 AR 镜片切割场景，已经取得符合行业指标的加工结果。

国产化带来的改变，不止于硬件设备，更在于工艺服务体系。 精密加工，设备只是基础，工艺经验同样重要。海外厂商往往很难针对国内细分零部件需求做深度工艺适配。本土团队可以对接半导体零部件企业真实工况，针对匀气盘阵列微孔、光学镜片异形切割，持续优化功率、扫描速度、水压等整套参数组合，积累适合国内产品的工艺知识库。同时设备维护、故障响应、备件交付都可以实现本土化，降低企业使用过程的时间成本。

也要客观认清现状，国产水导激光发展仍处在持续迭代阶段。在超高密度阵列微孔大批量生产效率、超薄片加工稳定性等方向，还需要更多项目实践积累。产业的进步不是单一设备就可以完成，需要装备企业、碳化硅材料厂商、零部件制造企业协同配合，共同打磨工艺，打通从基材到成品零部件全链条。

放眼产业大环境，半导体设备零部件、AR 光学市场需求持续释放，对碳化硅零部件需求稳步上涨。国产化水导激光技术持续突破，补齐硬脆精密加工的本土能力，帮助国内企业减少对外依赖，加快新产品研发迭代速度。未来随着更多工艺案例沉淀，水导激光会深度融入碳化硅产业链，为第三代半导体产业高质量发展贡献加工端的力量。