行业指南 | 克力空调以±0.07℃精密控温赋能半导体制

一、行业痛点：半导体制造的环境要求

半导体制造是一场“微观世界的战役”，蚀刻、涂层、光刻等制程对环境参数的敏感度达到。温度、湿度的微小偏差，都可能导致晶圆材料物理性质改变，进而引发芯片性能下降、良率暴跌。传统环控系统难以满足先进制程的高精度需求，如何实现环境参数的稳定可控，成为制约半导体产业升级的关键瓶颈。在此背景下，江苏克力空调的高精密恒温恒湿系统以±0.07℃温控精度、±1.6% RH 湿度控制精度，为行业提供了高效解决方案。

二、支撑：三大自研科技筑牢精度基石

克力空调的核心竞争力，源于全链路自主可控的三大自研科技，从感知到执行实现闭环。

“感知”，自主研发的超高精密传感器堪称“环境监测利器”。经国家计量检测机构认证，测温精度达±0.001℃，可实时捕捉参数细微波动，规避外部干扰，提供可靠原始数据，该精度已跻身国内行业。

“智能解析”，超高精密控制器凭借自研智能算法与传感反馈机制，实现毫秒级响应，精准匹配不同工艺需求。多项发明专利与软件著作权的加持，既保障了技术合规性，也以标准化行业发展。

“协同执行”，超高精密执行器与传感器、控制器深度协同，构建闭环执行体系。以毫秒级速度将调控指令转化为实际动作，实时修正参数偏差，确保系统稳定在预设高精度区间。

三、实战验证：数据见证稳定表现

在某半导体光刻工艺实验室项目中，克力空调的技术实力得到充分检验。该项目要求环境维持23±0.3℃、45±3% RH，以保障掩膜版与硅片热膨胀系数匹配，减少套刻误差。

经中国计量学院检测，系统在23℃设定点下，温度波动±0.07℃，区域温度变化被锁定；相对湿度波动±1.6%，温度均匀度达0.18℃，湿度均匀度0.9%。24小时不间断稳定运行，确保空间环境参数的均一性，为光刻工艺实施筑牢基础。

四、广泛应用：赋能多领域场景

凭借技术创新、定制化方案与全周期服务，克力空调的环控系统已深度服务全球多领域。不仅成为多家芯片半导体企业及重点实验室的合作伙伴，还深度服务于光学、航空航天、精密制造、等行业，为科研攻关与规模化生产提供稳定环境保障。自研的智能调控算法与节能技术，实现了高精度与低能耗的平衡，满足不同场景的个性化需求。

五、未来展望：行业精度升级

作为精密环境控制领域的企业，克力空调以参数树立行业新。未来，公司将持续秉持技术理念，深耕技术研发，突破精度边界。通过推出更多产品与服务，行业向更高精度标准迈进，为全球半导体及制造业的创新发展，注入稳定、高效的环境动力，助力产业实现质量与效率的双重提升。