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6)在sio2层104、si3n4层105上刻出接触孔，然后溅射金属，溅射完成后刻蚀形成正面金属电极106；7)在衬底107的背面做金属化处理形成背面电极108。进一步的，所述的衬底107采用电阻率20～100为ohm·cm的低电阻率硅材料；衬底107直接与背面金属形成良好的欧姆接触；所述的高反层109是由折射率～～，通过化学气相淀积或光学镀膜技术生成；所述的外延层101的电阻率为500～1000ohm·cm，外延层101的厚度与耗尽区宽度相当；所述的保护环102为as离子源注入，注入剂量为1e15～2e15。所述的有源区103为b离子源注入，注入剂量为1e15～2e15；所述的正面金属电极106是在溅射al之后刻蚀形成。具体的，包括以下操作：1)以在n+掺杂硅材料作为衬底107，在其上通过化学气相淀积或光学镀膜生成厚度3～5um的高反层109；其中。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展。硅光电二极管接法供应商选世华高。武汉硅光电硅光电二极管供应

该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。由衬底107与外延层101体电阻组成)，cj为光电二极管结电容(主要由p+有源区103与外延层101构成二极管的势垒电容组成)，rl为系统等效负载(50ω)；rs＝ρ(wo-wd)/aj+rc，其中，wo为衬底厚度，wd为耗尽区宽度，aj为结面积，rc为接触电阻(欧姆接触可忽略不计)，ρ为衬底电阻率；光电二极管响应度responsivity很大程度上依赖于耗尽区的宽度，耗尽区越宽，光子转换的光生载流子越多，响应度越高；而光电二极管响应时间t由三部分组成：t＝(tcc2+tdiff2+trc2)1/2；tcc为耗尽区中光生载流子的收集时间，与耗尽区宽度wd成正比；tdiff为耗尽区之外的光生载流子扩散到耗尽区里面所需的时间，正比于(wo-wd)2；trc为rc时间常数，trc＝(rs+rl)cj；本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管。中山硅pin硅光电二极管电池硅光电二极管厂家就找世华高。

硅光二极管的响应时间也是其性能的重要指标之一。在高速光通信系统中，需要选择具有快速响应时间的硅光二极管，以确保信号的准确传输和处理。随着技术的不断进步，硅光二极管的响应时间已经越来越短，为高速光通信技术的发展提供了有力保障。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。随着生产规模的不断扩大和产品种类的丰富，公司的销售业绩稳步提升。

其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。因此扩散时间很短；从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。该结构中，衬底材料107不用进行背面处理，直接与金属形成良好的欧姆接触；外延层厚度取决于耗尽区宽度。进一步的，所述外延层101的电阻率为500～1000ohm·cm，外延层101厚度wepi根据耗尽区宽度wd确定：wepi≈wd，而wd≥w入/2，其中w入＝f(λ)，w入为入射光入射深度，λ为入射光波长；所述的高反层109由折射率～～；高反层109上开设的刻蚀孔为矩阵排列的圆形孔，或者为同心环形孔。所述的刻蚀孔为均匀分布的圆形孔时，孔直径为10～50um，孔间距为15～50um，圆形孔的总面积为结面积的1/2；所述的刻蚀孔为同心环形孔时，同心环中心与正面金属电极106的中心重合，同心环中心为刻蚀区，相邻环间距5～20um。具体的，高反层109可以为多孔结构，可采用矩阵排列(比如采用正方形阵列排列)。大量供应硅光电二极管就找世华高。

深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。本发明属于半导体器件技术领域，涉及一种高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法。背景技术：硅基光电二极管由于其材料成本造工艺简单，响应度峰值波长为940nm，在3dsensor、红外测距、光通讯等领域有着广泛的应用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波长相关，波长越长，入射越深，因此为了提高响应度，传统光电二极管均选用高阻材料(电阻率2000～5000ohmcm)来提升耗尽区宽度，从而达到提高响应度的目的。随着光电二极管在光通讯中的广泛应用，光电二极管的响应速度要求越来越高，常规硅基光电二极管响应时间为纳秒级，已无法满足数据传输率1gbps以上的应用场景，因此。硅光电二极管阵列 选择世华高。宁波进口硅光电二极管二极管

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在光探测领域，硅光二极管也被广泛应用。它可以用于检测微弱的光信号，如生物发光、化学发光和激光等。通过测量硅光二极管产生的光电流，可以实现对光信号的定量分析和实时监测。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。随着生产规模的不断扩大和产品种类的丰富，公司的销售业绩稳步提升。武汉硅光电硅光电二极管供应