本发明具有以下有益的技术效果:本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管,通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率,耗尽区宽度减小导致响应度的降低,本发明通过增加高反层使得光子在耗尽区中二次吸收来补偿;高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时,降低响应时间;由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低,扩散区阻抗很小,因此扩散时间很短;从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管,由于通过低阻材料降低了扩散区电阻,缩短了扩散时间;而高反层的设置提高了长波的吸收效率,降低了耗尽区的物理厚度,缩短了漂移时间,并且在其上开孔减小了扩散区的阻抗;衬底采用低电阻率材料,背面不用进行减薄注入,直接背面金属化形成背面电极,避免了加工过程中碎片的情况。附图说明图1为本发明的结构图示意图;图2为本发明的等效电路示意图;图3为本发明的高反层原理示意图;图4为多孔结构高反层的示意图;图5-1~图5-7分别为本发明的逐层制备示意图。图6为本发明的硅基光电二极管的响应度测试曲线;图7为本发明的硅基光电二极管的频率特性测试曲线。硅光电二极管工作原理哪家好?世华高。长沙光电硅光电二极管品牌
二、2DU型硅光电二极管:2DU型硅光电二极管是用P型硅单晶制作的,从外形上分有2DUA,2DUB等类型,其中2DUA型管子体积较小些(见图1(b))。2DU型硅光电二极管目前多采用陶瓷树脂封装,入射光的窗口不带透镜。这类管子引线共有三条,分别称作前极、后极、环极(见图1(b))。前极即光敏区(N型区)的引线;后极为衬底(P型区)的引线;环极是为了减小光电管的暗电流和提高管子的稳定性而设计的另一电极。光电管的暗电流是指光电二极管在无光照、高工作电压下的反向漏电流。我们要求暗电流越小越好。这样的管子性能稳定,同时对检测弱光的能力也越强。为什么加了环极后就可以减小2DU型硅光电二极管的暗电流呢?这要从硅光电二极管的制造工艺谈起。在制造硅光电二极管的管心时,将硅单晶片经过研磨抛光后在高温下先生长一层二氧化硅氧化层,然后利用光刻工艺在氧化层上刻出光敏面的窗口图形,利用扩散工艺在图形中扩散进去相应的杂质以形成P-N结。然后再利用蒸发、压焊、烧结等工艺引出电极引线。由于2DU型硅光电二极管是用P型硅单晶制造的,在高温生长氧化层的过程中,容易在氧化层下面的硅单晶表面形成一层薄薄的N型层。上海国产硅光电二极管批发硅光电二极管原理哪家棒?世华高!
深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。孔直径为25um,孔间距35um;也可以为同心环结构,该同心环中心与金属电极106中心重合,个环直径与金属电极106直径相同,相邻环间距10um,环中心距35um;正面金属电极106下方的高反层需要刻蚀掉,以增大同流能力,降低扩散电阻,提高响应速度。进一步的,参见图5-1~图5-7。本发明还提出一种高速高响应度的硅基光电二极管的制备方法,包括以下操作:1)在衬底107上溅射生成高反层109;2)高反层109开设刻蚀孔;3)高反层109上通过淀积的方法生长外延层101;4)在外延层101上通过离子注入分别形成保护环102和有源区103;5)在保护环102和有源区103上生成sio2层104,然后在sio2层上方生成si3n4层105。
通过2CU、R1、R2的电流很小,因此R2两端电压很小,使BG1截止。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年。总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。BG2也截止,继电器触点释放。硅光电二极管供应商就选世华高。
主要负责研发和销售工作该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。BG2也截止,继电器触点释放,这样的线路起到了光电控制作用。图⑥(b)是暗通的光控线路,与图⑥(a)相比电路中2CU与R2的位置对调了。当有光照时2CU内阻变小,它两端的压降减小,这样使BG1截止,BG2也截止,继电器触点不吸合,当无光照时2CU的内阻增大,它两端的压降增大,使BG1导通,BG2也导通,继电器触点吸合。三、2DU型硅光电二极管在电路中的接法:我厂生产的2DU型硅光电二极管的前极、后极以及环极可按图①(b)所示来分辨。2DU型硅光电二极管使用时电原理图见图⑦,2DU管的后极接电源的负极,环极接电源的正极,前极通过负载电阻RL接到电源的正极。有了RL使环极的电位比前极电位高,这样表面漏电流从环极流出而不经过前极。硅光电二极管型号哪家棒!世华高。南京硅光硅光电二极管收费
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深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。本发明属于半导体器件技术领域,涉及一种高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法。背景技术:硅基光电二极管由于其材料成本造工艺简单,响应度峰值波长为940nm,在3dsensor、红外测距、光通讯等领域有着广泛的应用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波长相关,波长越长,入射越深,因此为了提高响应度,传统光电二极管均选用高阻材料(电阻率2000~5000ohmcm)来提升耗尽区宽度,从而达到提高响应度的目的。随着光电二极管在光通讯中的广泛应用,光电二极管的响应速度要求越来越高,常规硅基光电二极管响应时间为纳秒级,已无法满足数据传输率1gbps以上的应用场景,因此。长沙光电硅光电二极管品牌