硅光电硅光电二极管特性

    技术实现要素：本发明解决的技术问题在于提供高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法，在不影响光电二极管响应度的前提下，解决了硅基光电二极管响应速度慢的问题，实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明是通过以下技术方案来实现：一种高速高响应度的硅基光电二极管，包括背面设有背面电极的衬底；衬底正面依次设有高反层、外延层、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极；所述的高反层上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔，以及与正面金属电极相对应的刻蚀区；所述的注入层包括保护环以及设在其内的有源区；所述的正面金属电极还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区相连接。所述的衬底为电阻率20～100为ohm·cm的硅基衬底，衬底背面直接做金属化处理形成背面电极。所述的高反层由折射率～～；高反层上开设的刻蚀孔为矩阵排列的圆形孔，或者为同心环形孔。所述的刻蚀孔为均匀分布的圆形孔时，孔直径为10～50um，孔间距为15～50um，圆形孔的总面积为结面积的1/2；所述的刻蚀孔为同心环形孔时，同心环中心与正面金属电极的中心重合，同心环中心为刻蚀区，相邻环间距5～20um。所述的外延层淀积在高反层上；在外延层上分别以n型离子注入形成保护环。硅光电二极管特性给您带来智能体验。硅光电硅光电二极管特性

    主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。所述的有源区为b离子源注入，注入剂量为1e15～2e15；所述的正面金属电极是在溅射al之后刻蚀形成。与现有技术相比。苏州硅光电二极管收费专注硅光电二极管，智能硬件解决方案-世华高。

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    水热时间为2-12h。地，步骤3所述氮气保护条件下的煅烧温度为200-400℃，煅烧时间为1-6h。本发明的有益效果：本发明创造性地利用静电纺丝技术制备了sr掺杂batio3纳米纤维电极，该方法制备过程简单，便于规模化生产。且所制备的sr掺杂batio3铁电材料自发极化能力强，在外场环境下产生较强的表面电场，能够有效的分离znte电极的光生载流子，极大地提高了znte载流子的分离效率，降低了光生载流子的复合速度，从而为**co2还原反应奠定了坚实的基础。附图说明图1为实施例一中制备的sr掺杂batio3纳米纤维的扫描电镜图。图2为实施例一中制备的sr掺杂batio3/znte电极的扫描电镜图；图3为实施例二中制备的sr掺杂batio3和sr掺杂batio3/znte电极的线性扫描伏安曲线图；图4为实施例三中制备的sr掺杂batio3和sr掺杂batio3/znte电极在。具体实施方式为了更好的理解本发明，下面结合实施例和附图进一步阐明本发明的内容，但本发明的内容不局限于下面的实施例。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。硅光电二极管参数哪家棒！世华高。

    具体实施方式下面结合实施例对本发明做进一步详细描述，所述是对本发明的解释而不是限定。参见图1～图4，一种高速高响应度的硅基光电二极管，包括背面设有背面电极108的衬底107；衬底107正面依次设有高反层(109、外延层101、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极106；所述的高反层109上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔，以及与正面金属电极106相对应的刻蚀区；所述的注入层包括保护环102以及设在其内的有源区103；所述的正面金属电极106还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区103相连接。进一步的，所述的衬底107为电阻率20～100为ohm·cm的硅基衬底，衬底背面直接做金属化处理形成背面电极108。所述的外延层101淀积在高反层109上；在外延层101上分别以n型离子注入形成保护环102，以p型离子注入形成有源区103；所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层104，所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层105；所述的正面金属电极106是在溅射后经刻蚀成形。参见图2所示的光电二极管等效电路示意图，rsh为光电二极管关断阻抗，rsh＝∞，rs为光电二极管串联电阻。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。硅光电二极管接法供应商选世华高。苏州硅光电二极管收费

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    反应结束，取出fto电极，水洗3次，60℃下真空干燥8h；干燥后，将薄膜放入管式炉内，氮气保护条件下煅烧一定时间，即可得sr掺杂batio3/znte光电极。地，步骤1所述乙酸钡的浓度为5-100mmol/l，乙酸锶的浓度为5-100ummol/l，钛酸四丁酯的浓度与乙酸钡一致。地，步骤1所述乙酸、乙醇和水的体积比为1:3:3-1:10:10。地，步骤2所述静电纺丝工艺参数为：注射器推进速度1-5mm/h。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。纺丝电压10-30kv，接收距离5-10cm，滚筒转速200-500r/min。地，步骤2所述马弗炉中煅烧温度为400-700℃，煅烧时间为1-4h。地，步骤3所述硝酸锌、碲酸钠和硼氢化钠的浓度比为10:10:1-1:1:1。地，步骤3所述水热温度为150-220℃。硅光电硅光电二极管特性