湖北晶圆级MEMS工艺检测与成果转化

宁波启朴芯微的8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，是我国芯片产业的重要标志。它的建立，标志着我国在芯片制造领域取得了重大进展。先进的设备和完善的设施，为芯片的研发和制造提供了有力的支持。服务众多的高校、科研院所和科创企业的成绩，彰显了其在行业内的**地位。获批的各项荣誉，更是对其实力的高度认可。这条产线的发展，将为我国芯片产业的未来发展奠定坚实的基础。启朴芯微团队研发的微小型光谱成像系统，在科技领域具有重要的应用价值。它的出现，为光谱分析技术带来了新的发展机遇。在食品、药品、精细零部件等加工环境中的应用，不仅提高了检测的准确性和效率，还为产品的质量控制提供了科学依据。同时，它的技术特点也为未来的科技研究提供了新的方向。随着科技的不断进步，相信这一系统将在更多的领域得到应用和发展，为人类社会的进步做出更大的贡献。启朴芯微恪守对MEMS的热情和专注，为推动光学传感技术的快速发展和产业升级贡献智慧和力量。湖北晶圆级MEMS工艺检测与成果转化

针对当前MEMS产品在研发、制造过程的实验成本高、质量不稳定、适配性差等问题，启朴芯微积极开展MEMS产品定制设计服务，以适应未来更广的工业检测应用前景。在光学测量MEMS中心器件设计中，团队团队成功突破光功能中心芯片定制化设计门槛，有效解决了产品模块化、高精度定位组装难题。迎合MEMS技术在生物医疗、农业粮食、交通工程等领域的关键基础零部件、高级装备设计制造需求，启朴芯微自主掌握的MEMS晶圆级加工制造能力，实现以微小型光谱成像、柔性测量、特种视觉检测为的模块化系统自主研制，为本省高性能、规模化制造技术发展提供了有力保障。湖北晶圆级MEMS工艺检测与成果转化以“斫雕为朴，芯程再启”为创立宗旨，启朴芯微持续精进，为您带来更精湛的技术水平。

响应国家发展高性能、规模化制造技术的号召，启朴芯微团队以敏锐的洞察力和强烈的使命感，瞄准国家在关键基础零部件、**装备、集成电路等领域的重要需求。他们面向更***的工业检测应用前景，自主研发了消高反光特种视觉检测系统。这一系统犹如一位“精细的守护者”，通过像素级定标技术实现图像精细分析，比较大限度避免强光干扰问题。在实际应用中，过杀率和误判率分别低于2.0%、0.3%，极大提升了工业制造品检测效率。在研发过程中，团队成功突破光功能**芯片定制化设计门槛，融合了当今世界先进的微米级、纳米级半导体加工工艺，有效解决了产品模块化、高精度定位组装难题。这一系列的技术突破，展现了启朴芯微团队的技术前沿性和创新能力，为国家科技发展做出了重要贡献。

宁波启朴芯微系统技术有限公司（以下简称“启朴芯微”）是一家专注于微机电系统（MEMS）技术研发与产业化的****，成立于西北工业大学宁波研究院的孵化体系中，并在短时间内凭借技术创新与产业化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件设计、工艺开发及代工服务，拥有自主可控的8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，覆盖光刻、深硅刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、激光切割等**工艺能力，为行业提供从结构设计到封装测试的全链条服务36。其技术团队在MEMS领域经验丰富，尤其在光学类与SOI（绝缘体上硅）特色工艺方面具备***优势，例如通过原子层沉积（ALD）技术实现高精度薄膜制备，提升器件性能与可靠性。公司形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，成果丰硕！

8英寸MEMS研发中试ODM产线，配套激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机等一整套前沿技术设备，由此，启朴芯微具备为客户提供质量产品服务的能力，百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，赋予启朴芯微强大的**加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工，更充分支持实现国内MEMS技术企业、科研院所和高校的结构设计、工艺开发、流片代工和测试应用需求。宁波启朴芯微系统技术有限公司专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案，拥有自主可控的宁波i首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。启朴芯微MEMS技术和服务，为广大客户带来了出色的传感技术产品，广受业内同仁好评。湖北晶圆级MEMS工艺检测与成果转化

MEMS结构设计、工艺开发、流片代工、测试应用等中小规模服务，启朴芯微技术稳定，服务质量优异。湖北晶圆级MEMS工艺检测与成果转化

宁波启朴芯微自主可控国内首条8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，加工区域1000余平方米，具备**研发室、光学实验室，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级MEMS技术研发和加工制造，自建立以来已服务200余家高校、科研院所和科创企业，并先后成功获批浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台、宁波市重点实验室、浙江省重点实验室等。湖北晶圆级MEMS工艺检测与成果转化