武汉传感检测系统MEMS产品设计

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果。公司形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，成果丰硕！武汉传感检测系统MEMS产品设计

宁波启朴芯微的8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，是我国芯片产业发展的重要支撑。它的建立，标志着我国在芯片制造领域取得了重大突破。先进的设备和完善的设施，为芯片的研发和制造提供了有力的保障。服务200余家高校、科研院所和科创企业的成绩，彰显了其在行业内的**地位。获批浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台、宁波市重点实验室、浙江省重点实验室等荣誉，更是对其实力的高度肯定。这条产线的发展，将推动我国芯片产业向更高水平迈进。济南光学传感芯片MEMS产品设计能力启朴芯微，助力国内科研院所、高校提供MEMS技术开发和产品制造，口碑良好。

启朴芯微团队在科技探索的道路上从未停歇，他们持续攻关，不断突破技术瓶颈。以光功能芯片为**的微小型光谱成像系统便是他们的杰出成果之一。这一系统犹如一双敏锐的“科技之眼”，通过连续的光谱采集，在镜头前端精细获取被检测对象反射的宽波长混合光。随后，分光元器件将这些混合光分散为不同频率的单波长光，并投射到面阵相机上。计算机程序则像一位智慧的“大脑”，对数据进行校准和处理，**终形成连续性、高分辨率的光谱图像数据。这一过程不仅反馈了空间信息，还包含了丰富的光谱信息，具有空间可识别性、超多波段、图谱合一等***优点。在食品、药品、精细零部件等加工环境下，该系统能够保障品质安全，为行业发展提供了有力的技术支持。

在产业化方面，启朴芯微已实现多项突破。2023年，公司作为西北工业大学宁波研究院孵化的智能传感芯片团队企业，成功入库宁波市科技型中小企业，并斩获千万元级订单，彰显其技术成果转化的高效性4。2024年，公司被正式认定为****，进一步巩固了其在MEMS领域的行业地位1。此外，启朴芯微积极参与行业生态建设，例如在2024年深圳国际传感器展会上展示其光谱滤波芯片、成像系统解决方案及一站式代工服务，与国际巨头同台竞技，凸显技术实力与市场竞争力。启朴芯微，为广大客户提供更好的MEMS微纳加工服务和产品。

宁波启朴芯微系统技术有限公司（以下简称“启朴芯微”）是一家专注于微机电系统（MEMS）技术研发与产业化的****，成立于西北工业大学宁波研究院的孵化体系中，并在短时间内凭借技术创新与产业化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件设计、工艺开发及代工服务，拥有自主可控的8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，覆盖光刻、深硅刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、激光切割等**工艺能力，为行业提供从结构设计到封装测试的全链条服务36。其技术团队在MEMS领域经验丰富，尤其在光学类与SOI（绝缘体上硅）特色工艺方面具备***优势，例如通过原子层沉积（ALD）技术实现高精度薄膜制备，提升器件性能与可靠性。启朴芯微，由市场人员负责对接客户方前后需求，建立生产人员直接沟通渠道，保障客户项目安全！福州定制化MEMS产品设计

作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，启朴芯微团队精益求精。武汉传感检测系统MEMS产品设计

8英寸MEMS研发中试ODM产线，配套激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机等一整套前沿技术设备，由此，启朴芯微具备为客户提供质量产品服务的能力，百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，赋予启朴芯微强大的加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工，更充分支持实现国内MEMS技术企业、科研院所和高校的结构设计、工艺开发、流片代工和测试应用需求。宁波启朴芯微系统技术有限公司专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案，拥有自主可控的宁波i首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。公司拥有办公与生产区域共1000余平方米，百级/万级MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，同步配备仓储空间，生产过程严格遵循相关国家标准，为国内传感智能技术企业、科研院所、高校提供高质量的MEMS结构设计、工艺开发、流片代工、测试应用服务。武汉传感检测系统MEMS产品设计