深圳微机电系统MEMS微纳加工技术指导

8英寸MEMS研发中试ODM产线，配套激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机等一整套前沿技术设备，由此，启朴芯微具备为客户提供质量产品服务的能力，百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，赋予启朴芯微强大的加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工，更充分支持实现国内MEMS技术企业、科研院所和高校的结构设计、工艺开发、流片代工和测试应用需求。宁波启朴芯微系统技术有限公司专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案，拥有自主可控的宁波i首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。公司拥有办公与生产区域共1000余平方米，百级/万级MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，同步配备仓储空间，生产过程严格遵循相关国家标准，为国内传感智能技术企业、科研院所、高校提供高质量的MEMS结构设计、工艺开发、流片代工、测试应用服务。通过定制开发、项目互补与公司直营相结合的方式，启朴芯微的服务模式灵活多样！深圳微机电系统MEMS微纳加工技术指导

在MEMS智能制造与智能传感装备设计研究领域，启朴芯微拥有一支由专业博士组成的精英团队，曾多次获得、省部级技术发明奖项，并参与国家标准制定，在微纳传感器件的设计、制造、应用领域经验丰富。自成立以来，本着“斫雕为朴，芯程再启”的宗旨，启朴芯微持续参与MEMS智能制造与智能传感装备的设计研究，已形成多项发明专利、实用新型专利，团队凭借深厚的学术背景和丰富的实践经验，不断攻克技术难关，推动公司产品和服务的持续升级，赢得了广大客户的信赖和支持。深圳微机电系统MEMS微纳加工技术指导公司形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，成果丰硕！

启朴芯微团队自主研发的消高反光特种视觉检测系统，是科技创新的典范。它的研发过程充满了挑战和机遇，团队成员们凭借着坚定的信念和不懈的努力，成功突破了技术瓶颈。这一系统的应用，不仅提高了工业制造品的检测效率，还推动了我国在工业检测领域的技术进步。同时，它也为其他领域的技术创新提供了有益的借鉴。在未来，相信这一系统将在更多的领域得到应用，为我国科技发展做出更大的贡献。宁波启朴芯微的实验区，是科技创新的摇篮。先进的设备和***的科研人员，共同孕育着科技的希望。8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线在这里不断发展壮大，为我国芯片产业的发展提供了强大的动力。**研发室和光学实验室里的创新成果，不断推动着科技的进步。百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室的严格管理，确保了产品的质量。这里的一切，都彰显着科技的力量和魅力。

微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems）是一种将微型机械结构、传感器、执行器与电子电路集成在单一芯片上的技术。其**是通过微纳加工工艺（如光刻、薄膜沉积、离子刻蚀等），在硅基或其他材料上制造出尺寸在微米至毫米级别的三维可动结构。这些结构能够感知或操控物理量（如压力、加速度、温度等），并通过嵌入式电路实现信号处理与通信。MEMS的制造技术借鉴了半导体工艺，但增加了机械部件的设计，例如通过深反应离子刻蚀（DRIE）形成悬臂梁、空腔或微型齿轮。这种技术的高度集成性使得MEMS器件在体积、功耗和成本上***优于传统机电系统，同时具备高灵敏度和快速响应能力，成为现代智能设备的**组件之一。启朴芯微，通过自主掌握MEMS晶圆级加工制造能力，实现集成芯片和模块化光谱成像相机的自主研制！

在当今科技飞速发展的时代，芯片技术作为**驱动力之一，正不断推动着各个领域的革新。宁波启朴芯微以其***的实力和前瞻性的布局，在芯片领域绽放出耀眼光芒。其自主可控的国内首条8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，宛如一座科技堡垒，屹立于行业前沿。实验区内，激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机等一整套先进技术设备有序排列，这些设备如同精密的乐章演奏者，协同奏响科技创新的旋律。加工区域1000余平方米，不仅拥有**研发室、光学实验室，还配套了百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室。如此完备的设施，为8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级MEMS技术研发和加工制造提供了***的支持。自建立以来，这条产线已服务200余家高校、科研院所和科创企业，成为推动行业发展的重要力量。同时，它先后成功获批浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台、宁波市重点实验室、浙江省重点实验室等荣誉，这无疑是对其实力和贡献的高度认可。启朴芯微MEMS技术和服务，为广大客户带来了出色的传感技术产品，广受业内同仁好评。深圳微机电系统MEMS微纳加工技术指导

光刻、刻蚀、氧化退火、激光隐切、湿法腐蚀清洗、抛光、溅射镀膜，启朴芯微MEMS微纳加工服务值得信赖。深圳微机电系统MEMS微纳加工技术指导

8英寸MEMS研发中试ODM产线，配套激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机等一整套前沿技术设备，由此，启朴芯微具备为客户提供质量产品服务的能力，百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，赋予启朴芯微强大的**加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工，更充分支持实现国内MEMS技术企业、科研院所和高校的结构设计、工艺开发、流片代工和测试应用需求。宁波启朴芯微系统技术有限公司专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案，拥有自主可控的宁波i首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。深圳微机电系统MEMS微纳加工技术指导