zno薄膜是一种重要的光电子信息材料,不具有与传统的ito薄膜相比拟的光电性质,而且原料丰富,价格低,无毒性,热稳定性高,在太阳能电池、液晶显示器、光电探测器等领域有着的应用前景,比如可用于制造柔性衬底发光器件、塑料液晶显示器和非晶硅太阳能电池,还可作为透明保温隔热材料用于塑料大棚以及汽车玻璃和民用建筑玻璃的贴膜。尤其在光电子产业ito透明导电薄膜中,in元素资源稀少,价格昂贵,急需找到一种可替代的材料。因此zno被视为ito的替代材料。在zno体系中掺杂al得到zno:al透明导电薄膜,即azo薄膜,掺杂后的薄膜导电性能大幅度提高,电阻率可降低到10-4ohm·cm,而且透明导电薄膜azo薄膜在氢等离子体中稳定性要优于ito,同时具有可同ito相比拟的光电特性,而且azo薄膜的制备方便,元素资源比in元素丰富,且无毒,逐渐成为ito薄膜佳替代者,azo薄膜已经在平板显示器和薄膜太阳能电池中得到了部分应用。但是zno基薄膜湿法刻蚀中,由于金属氧化物本身晶体生长特殊性,刻蚀过程中产生的蚀刻毛刺及均匀性问题一直是al、ga等掺杂氧化物薄膜推广应用的瓶颈,因此开发一款性能优良的azo薄膜蚀刻液很有必要。苏州博洋化学股份有限公司拥有专业的BOE蚀刻液以及各种蚀刻液。浙江如何分类BOE蚀刻液推荐厂家
BOE就是buffer oxide etch,缓冲氧化物刻蚀液。由氢氟酸(49%)与水或氟化铵与水混合而成, B.O.E 缓冲蚀刻液 BOE是HF与NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蚀刻即表示49%HF水溶液:40%NH4F水溶液=1:6(体积比)的成分混合而成。刻蚀速度约10nm每秒。HF为主要的蚀刻液,NH4F则作为缓冲剂使用。利用NH4F固定〔H+〕的浓度,使之保持一定的蚀刻率。HF会浸蚀玻璃及任何含硅石的物质,对皮肤有强烈的腐蚀性,如果不小心被溅到,应用大量水冲洗。安徽工业级BOE蚀刻液按需定制苏州博洋化学您正确的选择,欢迎咨询。
一种蚀刻液,其特征在于,用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛,并且含有:选自由硫酸、盐酸及三氯乙酸所组成的群组中的至少一种酸;以及选自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所组成的群组中的至少一种有机硫化合物。 2.根据权利要求1所述的蚀刻液,其特征在于,所述硫酮系化合物为选自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所组成的群组中的至少一种。 3.根据权利要求1或2所述的蚀刻液,其特征在于,所述硫醚系化合物为选自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所组成的群组中的至少一种。
现阶段通常用于金属层蚀刻的铜酸蚀刻溶液主要成分为过氧化氢和一些添加剂;过氧化氢用于对金属进行氧化,而添加剂则主要将氧化物酸化成离子态,使其溶解于溶液中,并且维持蚀刻特性要求。由于过氧化氢同时具有氧化性和还原性,其可以将铜氧化,也可以被金属离子催化发生歧化分解反应,生成氧气。如果此反应速度过快,则会生热乃至引起等安全事故。与此同时,二价铜离子也具有一定的氧化性,当蚀刻时间较长,所述铜酸蚀刻溶液体系内的铜离子含量较高时,溶液的蚀刻特性会发生变化,以至于蚀刻达不到要求,所述铜酸蚀刻溶液不能够再进行蚀刻,即达到蚀刻寿命。基于以上两个方面,过氧化氢体系的铜酸蚀刻溶液寿命较低,一般为当铜酸溶液中铜离子的浓度达到4000-8000百万分比浓度,则不能再使用;并且加入使用新的铜酸蚀刻溶液需要投入更多的成本。BOE蚀刻液的溶液成分。
蚀刻液一般分为酸性蚀刻液和碱性蚀刻液两种。酸性蚀刻液主要成分氯化铜、盐酸、氯化钠和氯化铵。它的机理是:,;酸性蚀刻液具有蚀刻速率易控制,蚀刻液在稳定状态下能达到高的蚀刻质量的特性;同时,它的溶铜量大;酸性蚀刻液也较容易再生与回收,从而减少污染。有研究表明,酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3,以硝酸为基础的蚀刻系统可以做到几乎没有侧蚀,达到蚀刻的线条侧壁接近垂直,其蚀刻效果非常好。结合以上特性,酸性蚀刻液一般用于多层印制板的内层电路图形的制作或微波印制板阴板法直接蚀刻图形的制作。苏州博洋化学股份有限公司欢迎新老朋友咨询。江苏专业BOE蚀刻液主要作用
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