所述制备装置主体的内部中间部位活动连接有高效搅拌装置,所述制备装置主体的一侧中间部位嵌入连接有翻折观察板,所述制备装置主体的底端固定连接有装置底座,所述装置底座的内部底部固定连接有成品罐,所述装置底座的顶端一侧固定连接有盐酸装罐,所述装置底座的顶端另一侧固定连接有硝酸装罐,所述高效搅拌装置的内部顶部中间部位活动连接有旋转摇匀转盘,所述高效搅拌装置的内部顶部两侧活动连接有震荡弹簧件,所述震荡弹簧件的顶端固定连接有运转电机组,所述运转电机组的顶端电性连接有控制面板,所述高效搅拌装置的内部中间部位固定连接有致密防腐杆,所述致密防腐杆的内部内侧贯穿连接有搅动孔,所述盐酸装罐的内部一侧嵌入连接有嵌入引流口,所述嵌入引流口的一端固定连接有负压引流器,所述负压引流器的一端固定连接有注入量控制容器,所述注入量控制容器的内部内侧固定连接有注入量观察刻度线,所述注入量控制容器的一侧嵌入连接有限流销。推荐的,所述翻折观察板的内部顶部活动连接有观察窗翻折滚轮,所述观察窗翻折滚轮的底端活动连接有内嵌观察窗。推荐的,所述盐酸装罐的顶端嵌入连接有热水流入漏斗。推荐的,所述装置底座的内部两侧紧密焊接有加固支架。铜蚀刻液的配方是什么?扬州BOE蚀刻液蚀刻液什么价格

以带动该基板20由该喷洒装置50下端部朝向该风刀装置40的该***风刀41下端部的方向移动。该风刀装置40设置于该挡液板结构10的一端部,该风刀装置40包括有一设置于该基板20上方的***风刀41,以及一设置于该基板20下方的第二风刀42,其中该***风刀41与该第二风刀42分别吹出一气体43至该基板20,以将该基板20上的一药液51带往与相反于该基板20的行进方向,以使该基板20上该药液51减少,其中该气体43远离该***风刀41与该第二风刀42的方向分别与该基板20的法线方向夹设有一第三夹角θ3,且该第三夹角θ3介于20度至35度之间。此外,请一并参阅图8与图9所示,为本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图,以及宣泄孔的表面张力局部放大图,其中该宣泄孔121为直通孔的态样,当该风刀装置40的***风刀41与该第二风刀42为了减少该基板(本图式未标示)上所残留的药液51而吹出该气体43时,该气体43碰到该挡液板结构10后部分会往该复数个宣泄孔121流动,并朝向该第二挡板12的该上表面123宣泄而出(如图8所示),除了保有原有挡液板的防止该药液51喷溅而造成的蚀刻不均现象,亦可达到以破真空的原理避免该气体43在该基板20附近形成涡流而造成真空吸引问题;此外。佛山铜钛蚀刻液蚀刻液生产ITO蚀刻液的配方是什么?

也不能在回收结束后对装置内部进行清理的问题。为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种废铜蚀刻液的回收处理装置,包括装置主体,所述装置主体内部中间位置固定安装有分隔板,所述分隔板左端表面靠近中间位置固定安装有承载板,所述承载板上端表面放置有电解池,所述电解池内部中间位置设置有隔膜,所述装置主体上端表面靠近右侧安装有进液漏斗,所述进液漏斗上设置有过滤网,所述装置主体内部靠近顶端设置有进液管,所述进液管左端连接有伸缩管,所述伸缩管下端安装有喷头,所述装置主体上端表面靠近左侧固定安装有液压缸,所述液压缸下端安装有伸缩杆,所述伸缩杆下端固定安装有圆环块,所述圆环块与喷头之间固定连接有连接杆,所述分隔板右端表面靠近上端固定安装有增压泵,所述增压泵下端与电解池之间连接有回流管,所述增压泵上端与进液管之间连接有一号排液管,所述回流管内部左端设置有一号电磁阀,所述装置主体左端表面靠近上端固定安装有抽气泵,所述抽气泵下方设置有集气箱,所述集气箱与抽气泵之间连接有排气管,所述电解池下端连接有二号排液管,所述二号排液管内部上端设置有二号电磁阀,所述装置主体内部底端靠近左侧设置有倾斜板。
本实用涉及蚀刻设备技术领域,具体为一种ito蚀刻液制备装置。背景技术:蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻,其中,湿蚀刻是采用化学试剂,经由化学反应达到蚀刻的目的,薄膜场效应晶体管液晶显示器(tft~lcd)、发光二极管(led)、有机发光二极管(oled)等行业用作面板过程中铟锡氧化物半导体透明导电膜(ito)的蚀刻通常采用盐酸和硝酸的混合水溶液。现有的制备装置在进行制备时会发***热反应,使得装置外壳稳定较高,工作人员直接接触有烫伤风险,热水与盐酸接触会产生较为剧烈的反应,溅出容易伤害工作人员,保护性不足,盐酸硝酸具有较强的腐蚀性,常规的搅拌装置容易被腐蚀,影响蚀刻液的质量,用防腐蚀的聚四氟乙烯搅拌浆进行搅拌,成本过高,且混合的效果不好。所以,如何设计一种ito蚀刻液制备装置,成为当前要解决的问题。技术实现要素:本实用新型的目的在于提供一种ito蚀刻液制备装置,以解决上述背景技术中提出的ito蚀刻液制备装置保护性不足、不具备很好的防腐蚀性和混合的效果不好的问题。为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种ito蚀刻液制备装置,包括制备装置主体、高效搅拌装置和过滤除杂装置。使用蚀刻液需要什么条件。

etchingamount)的相互关系的图表。具体实施方式本发明人确认了用于氮化物膜去除工序用蚀刻液组合物的具有防蚀能力的添加剂在满足特定参数值时能够使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性去除氮化物膜且不损伤氧化物膜的效果极大化,从而完成了本发明。本发明包括选择在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*将氮化物膜选择性去除的能力优异的添加剂的方法、由此选择的添加剂、包含上述添加剂的蚀刻液组合物以及利用上述蚀刻液组合物的蚀刻方法。本发明中,蚀刻对象膜可以为氮化物膜,保护对象膜可以为氧化物膜。此外,本发明的上述添加剂可以为硅烷(silane)系偶联剂。<蚀刻液组合物>具体而言,本发明可以包含磷酸、添加剂和水,上述添加剂可以为硅烷(silane)系偶联剂。本发明的上述添加剂的特征在于,使上述添加剂的反应位点(activesite)的数量除以上述添加剂的水解(hydrolysis)了的形态的分子量之后乘以(参照以下数学式)满足。本发明中,各添加剂的反应位点(activesite)的数量和添加剂的水解(hydrolysis)了的形态的分子量的例子示于表3中。此外,由此计算的各添加剂的aeff值和与此有关的蚀刻程度的例示示于表2中。参照上述结果,可以确认到上述添加剂的aeff值推荐满足。上海和辉光电用的哪家的蚀刻液?成都银蚀刻液蚀刻液销售厂
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所述硫醚系化合物推荐为选自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所组成的群组中的至少一种。本发明的蚀刻液推荐进一步含有α-羟基羧酸和/或其盐。所述α-羟基羧酸推荐为选自由酒石酸、苹果酸、柠檬酸、乳酸及甘油酸所组成的群组中的至少一种。推荐为,所述酸的浓度为20重量%至70重量%,所述有机硫化合物的浓度为%至10重量%。另外,所述α-羟基羧酸和/或其盐的浓度推荐为%至5重量%。另外,本发明涉及一种使用所述蚀刻液在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻方法。发明的效果本发明的蚀刻液可在铜的存在下选择性地蚀刻钛。另外,本发明的蚀刻液实质上不含氢氟酸及过氧化氢,因此毒性低,保存稳定性优异。具体实施方式本发明的蚀刻液为含有选自由硫酸、盐酸及三氯乙酸所组成的群组中的至少一种酸与选自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所组成的群组中的至少一种有机硫化合物的水溶液。所述酸中,从蚀刻速度的稳定性及酸的低挥发性的观点来看,推荐为硫酸。酸的浓度并无特别限制,推荐为20重量%至70重量%,更推荐为30重量%至60重量%。在酸的浓度小于20重量%的情况下,有无法获得充分的钛蚀刻速度的倾向,在超过70重量%的情况下,有蚀刻液的安全性成问题的倾向。扬州BOE蚀刻液蚀刻液什么价格