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因此存在开发蚀刻液组合物时会过度耗费时间和费用的问题。美国公开**第2号公开了在3dnand闪存的制造工序中，对于硅氧化物膜和硅氮化物膜*选择性蚀刻硅氮化物膜的蚀刻液组合物。然而，为了选择构成成分的种类和浓度，不得不需要测试蚀刻液组合物的蚀刻性能，实际情况是，与上述同样，仍然没有解决在找寻蚀刻液组合物的适宜组成方面过度耗费时间和费用的问题。现有技术文献**文献**文献1：美国公开**第2号技术实现要素：所要解决的课题本发明是为了改善上述以往技术问题的发明，其目的在于，提供用于选择硅烷系偶联剂的参数以及包含由此获得的硅烷系偶联剂的蚀刻液组合物，所述硅烷系偶联剂作为添加剂即使不进行另外的实验确认也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻氮化物膜的效果和防蚀能力。此外，本发明的目的在于，提供一种以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能够*选择性蚀刻上述氮化物膜为特征的蚀刻液组合物。此外，本发明的目的在于，提供利用上述蚀刻液组合物的蚀刻方法。此外，本发明的目的在于，提供选择上述蚀刻液组合物所包含的硅烷系偶联剂的方法。解决课题的方法为了实现上述目的，本发明提供一种蚀刻液组合物，其特征在于，包含磷酸、硅烷。哪家的蚀刻液配方比较好？安庆ITO蚀刻液蚀刻液订做价格

本发明涉及一种用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法。背景技术：以往，在蚀刻钛时一直使用含有氢氟酸或过氧化氢的蚀刻液。例如专利文献1中提出了一种钛的蚀刻液，该钛的蚀刻液是用来在铜或铝的存在下蚀刻钛，并且该蚀刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的过氧化氢、％至5重量％的磷酸、％至％的膦酸系化合物及氨所构成的水溶液将pH值调整为7至9。但是，含有氢氟酸的蚀刻液存在毒性高的问题，含有过氧化氢的蚀刻液存在缺乏保存稳定性的问题。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第4471094号说明书。技术实现要素：发明所要解决的问题本发明是鉴于所述实际情况而成，其目的在于提供一种蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法，所述蚀刻液可在铜的存在下选择性地蚀刻钛，而且毒性低，保存稳定性优异。解决问题的技术手段本发明的蚀刻液是为了在铜的存在下选择性地蚀刻钛而使用，并且含有：选自由硫酸、盐酸及三氯乙酸所组成的群组中的至少一种酸；以及选自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所组成的群组中的至少一种有机硫化合物。所述硫酮系化合物推荐为选自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所组成的群组中的至少一种。无锡天马用的蚀刻液蚀刻液销售价格蚀刻不同金属用到的蚀刻液一样吗？

下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1是实施例一中公开的储存罐与拖车的安装结构图；图2是实施例二中公开的储存罐与拖车的安装结构图；图3是实施例三中公开的储存罐与拖车的安装结构图；图4是实施例四中公开的储存罐与拖车的安装结构图。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例一铝蚀刻液生产设备，包括混合罐、过滤器和数个小型的储存罐，混合罐通过液管与过滤器连接，过滤器的出液口处安装有气动升降式出液管，每个储存罐的进液口和出液口中安装有一只单向液动阀，过滤器的出液管自动下行插入储存罐的进液口中，将过滤后的铝蚀刻液注入储存罐内暂存。请参阅图1，储存罐10固定在一辆液压升降式拖车20的顶部，在过滤器的下方设置地磅30，载有空储存罐的拖车置于地磅上方，过滤器的出液管自动下行插入储存罐的进液口中，当地磅所测得的重量达到系统预设重量时，过滤器的出液管自动上行离开储存罐。将装满的储存罐从铝蚀刻液生产车间移动至自动灌装车间中，将灌装头的快速接头插入储存罐的出液口中便可将储存罐内的铝蚀刻液分装。拖车的底部具有滚轮21，即使滚轮带有刹车。

本发明涉及回收处理技术领域，具体为一种废铜蚀刻液的回收处理装置。背景技术：废铜蚀刻液含有可回收的金属，所以需要进行回收处理，目前通用的做法是，使用化学方法回收废液内的铜，或提炼成硫酸铜产品，工艺落后，铜回收不彻底，处理的经济效益不明显，有二次污染污染物排放，一旦处理不当往外排放，势必对水体生态系统造成大的冲击。市场上的废铜蚀刻液的回收处理装置只能简单的对蚀刻液进行回收处理，不能对蚀刻液进行循环电解，使得剩余蚀刻液中的铜离子转化不充分，而且蚀刻液导入到电解池中会对电解池造成冲击，进而影响电解池的使用寿命，并且在回收处理中会产生有害气体而影响空气环境，也不能在回收结束后对装置内部进行清理，为此，我们提出一种废铜蚀刻液的回收处理装置。技术实现要素：本发明的目的在于提供一种废铜蚀刻液的回收处理装置，以解决上述背景技术中提出的市场上的废铜蚀刻液的回收处理装置只能简单的对蚀刻液进行回收处理，不能对蚀刻液进行循环电解，使得剩余蚀刻液中的铜离子转化不充分，而且蚀刻液导入到电解池中会对电解池造成冲击，进而影响电解池的使用寿命，并且在回收处理中会产生有害气体而影响空气环境。铜蚀刻液哪里可以买到；

从蚀刻速度及安全性的观点来看，推荐为40℃至70℃，更推荐为45℃至55℃。处理时间视对象物的表面状态及形状等而变化，通常为30秒至120秒左右。实施例然后，对本发明的实施例与比较例一起进行说明。此外，本发明并非限定于下述实施例而解释。制备表1及表2所示的组成的各蚀刻液，在下述条件下进行蚀刻试验及蚀刻液的稳定性试验。此外，表1及表2所示的组成的各蚀刻液中，剩余部分为离子交换水。另外，表1及表2所示的盐酸的浓度为以氯化氢计的浓度。(蚀刻试验)通过溅镀法在树脂上形成50nm的钛膜，然后成膜200nm的铜膜，进而通过电镀铜在该铜膜上形成图案，将所得的基板用作试样。使用铜的蚀刻液，将试样的溅镀铜膜溶解而使钛膜露出。然后，将试样浸渍在实施例1至实施例12及比较例1至比较例3的蚀刻液中进行蚀刻实验。将实验结果示于表1。[表1]像表1所示那样，本发明的蚀刻液可在不蚀刻铜的情况下选择性地蚀刻钛。(蚀刻液的稳定性试验)将实施例1、实施例7、实施例12及比较例4的蚀刻液在室温下放置2天后，进行所述蚀刻试验，比较放置前后的蚀刻速度。将比较结果示于表2。[表2]像表2所示那样，本发明的蚀刻液的保存稳定性优异，即便在长期保存的情况下也可稳定地选择性地蚀刻钛。京东方用的哪家的蚀刻液？无锡天马用的蚀刻液蚀刻液销售价格

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所述硫醚系化合物推荐为选自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所组成的群组中的至少一种。本发明的蚀刻液推荐进一步含有α-羟基羧酸和/或其盐。所述α-羟基羧酸推荐为选自由酒石酸、苹果酸、柠檬酸、乳酸及甘油酸所组成的群组中的至少一种。推荐为，所述酸的浓度为20重量％至70重量％，所述有机硫化合物的浓度为％至10重量％。另外，所述α-羟基羧酸和/或其盐的浓度推荐为％至5重量％。另外，本发明涉及一种使用所述蚀刻液在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻方法。发明的效果本发明的蚀刻液可在铜的存在下选择性地蚀刻钛。另外，本发明的蚀刻液实质上不含氢氟酸及过氧化氢，因此毒性低，保存稳定性优异。具体实施方式本发明的蚀刻液为含有选自由硫酸、盐酸及三氯乙酸所组成的群组中的至少一种酸与选自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所组成的群组中的至少一种有机硫化合物的水溶液。所述酸中，从蚀刻速度的稳定性及酸的低挥发性的观点来看，推荐为硫酸。酸的浓度并无特别限制，推荐为20重量％至70重量％，更推荐为30重量％至60重量％。在酸的浓度小于20重量％的情况下，有无法获得充分的钛蚀刻速度的倾向，在超过70重量％的情况下，有蚀刻液的安全性成问题的倾向。安庆ITO蚀刻液蚀刻液订做价格