河南了解BOE蚀刻液

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    表％九氟丁基甲基醚和50重量％甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出92重量％九氟丁基甲基醚和8重量％甲基四氢呋喃的共沸组合物，其在°C的沸点。实施例2如实施例1所述进行沸点测定方法。表II给出九氟丁基乙基醚和甲基四氢呋喃的各种混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量％甲基四氢呋喃的重量％(°C)％九氟丁基乙基醚和50重量％甲基四氢呋喃的液体混合物的分馏显示出％九氟丁基乙基醚和％甲基四氢呋喃的共沸组合物，其在°C的沸点。清洗试验的总体过程首先，用FORANE141b对2X5cm的不锈钢片材进行脱脂。这些片材各自在测试之前称重，其构成皮重。然后，在这些片材的单侧上涂布油REDUCTELFSP460。对该涂布有油的片材进行称重，并由与皮重的差值推算出涂布的油的量。接下来，将该涂布有油的片材浸5入到含有100ml待评价组合物的烧杯中5分钟，不进行搅拌且无超声。该片材一移出，就在通风的情况下进行15分钟的滴干(dripdry)，并且，在该15分钟结束时，通过称重测定油的残留量。与油的初始量相比，计算移除的油的百分数。实施例3在使用九氟丁基甲基醚的组合物的情况下，得到0%的油移除率。实施例4在使用包含8重量％的2-MeTHF和92重量％的九氟丁基甲基醚的组合物的情况下。选择BOE蚀刻液，实现高精度蚀刻效果。

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