本发明涉及回收处理技术领域,具体为一种废铜蚀刻液的回收处理装置。背景技术:废铜蚀刻液含有可回收的金属,所以需要进行回收处理,目前通用的做法是,使用化学方法回收废液内的铜,或提炼成硫酸铜产品,工艺落后,铜回收不彻底,处理的经济效益不明显,有二次污染污染物排放,一旦处理不当往外排放,势必对水体生态系统造成大的冲击。市场上的废铜蚀刻液的回收处理装置只能简单的对蚀刻液进行回收处理,不能对蚀刻液进行循环电解,使得剩余蚀刻液中的铜离子转化不充分,而且蚀刻液导入到电解池中会对电解池造成冲击,进而影响电解池的使用寿命,并且在回收处理中会产生有害气体而影响空气环境,也不能在回收结束后对装置内部进行清理,为此,我们提出一种废铜蚀刻液的回收处理装置。技术实现要素:本发明的目的在于提供一种废铜蚀刻液的回收处理装置,以解决上述背景技术中提出的市场上的废铜蚀刻液的回收处理装置只能简单的对蚀刻液进行回收处理,不能对蚀刻液进行循环电解,使得剩余蚀刻液中的铜离子转化不充分,而且蚀刻液导入到电解池中会对电解池造成冲击,进而影响电解池的使用寿命,并且在回收处理中会产生有害气体而影响空气环境。蚀刻液应用于什么样的场合?成都京东方用的蚀刻液蚀刻液费用
为本实用新型挡液板结构其二较佳实施例的宣泄孔排列示意图,以及其三较佳实施例的宣泄孔排列示意图,在本实用新型其二较佳实施例中,开设于该第二挡板12上的宣泄孔121亦呈千鸟排列的直通孔态样,且位于同一列的宣泄孔121之间具有相同的距离,例如:图4中所示的w1,其中w1大于图3的w或图5的w2,其中w2大于w,而该宣泄孔121的一孔径a0亦小于3mm,以使该宣泄孔121的孔洞内产生毛细现象,若该第二挡板12的该上表面123有水滴出现时,则该水滴不至于经由该宣泄孔121落至下表面,但仍旧可以提供空气宣泄的管道,以借由该宣泄孔121平衡该第二挡板12上、下二端部的压力。此外,请参阅图6与图7所示,为本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的整体结构示意图,以及挡液板结构运作局部放大图,其中本实用新型的蚀刻设备1设置于一湿式蚀刻机的一槽体(图式未标示)内,该蚀刻设备1包括有一如上所述的挡液板结构10、一输送装置30、一基板20,以及一风刀装置40,其中本实用新型主要借由具有复数个宣泄孔121的挡液板结构10搭配该风刀装置40的硬体设计,有效使该风刀装置40吹出的气体43得以由该复数个宣泄孔121宣泄。成都京东方用的蚀刻液蚀刻液费用性价比高的蚀刻液哪里可以买到;
将装置主体1内部的蚀刻液进行清洗,具有很好的清理作用。工作原理:对于这类的回收处理装置,首先将蚀刻液倒入进液漏斗6并由过滤网7过滤到进液管8中,之后蚀刻液流入到承载板3上的电解池4中时,启动液压缸11带动伸缩杆12向上移动,从而通过圆环块13配合连接杆14和伸缩管9带动喷头10向上移动,进而将蚀刻液缓慢的由喷头10喷入到电解池4中,避免蚀刻液对电解池4造成冲击而影响其使用寿命,具有保护电解池4的功能,之后金属铜在隔膜5左侧析出;其次在蚀刻液初次电解后,通过控制面板30启动增压泵16并打开一号电磁阀18,将蚀刻液通过回流管15抽入到一号排液管17中,并由进液管8导入到伸缩管9中,直至蚀刻液由喷头10重新喷到电解池4中,可以充分的将蚀刻液中的亚铜离子电解转化为金属铜,起到循环电解蚀刻液的作用,然后打开二号电磁阀23,将蚀刻液通过二号排液管22导入到分隔板2左侧,倾斜板24使得蚀刻液向左流动以便排出到装置主体1外,接着启动抽气泵19,将电解池4中产生的有害气体抽入到排气管20并导入到集气箱21中,实现有害气体的清理,紧接着打开活动板25将金属铜取出,之后启动增压泵16并打开三号电磁阀29,将由进水管27导入到蓄水箱26中的清水。
所述液位计7安装于所述分离器的外表面。液位计7安装在方便工作人员查看的位置,有利于提高工作人员工作的效率。在一个实施例中,如图1所示,所述液位开关9为控制阀,设置于所述滤液出口2处。控制阀为内螺纹截止阀,通过旋转操纵盘实现阀门的开关,这种阀结构简单,维修方便,工作行程小,启闭时间短,使用寿命长。在一个实施例中,如图2所示,所述分离器的侧壁上设有多个视镜10。分离器侧壁上设置的视镜10可以帮助工作人员辅助判断液位计7的工作状况。在一个实施例中,如图1所示,所述加热器11为盘管式加热器。盘管式加热器的受热更加均匀,加热效率更高。在一个实施例中,如图1所示,所述分离器底部为锥体形状。分离器底部设置成锥体形状更有利于滤液排出,不会残留在分离器内。以上所述是本实用新型的推荐实施方式,本实用新型的保护范围并不局限于上述实施例,凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。BOE蚀刻液厂家直销价格。
本实用新型有关于一种挡液板结构与以之制备的蚀刻设备,尤其是指一种适用于湿式蚀刻机的挡液排液功能且增加其透气性以降低产品损耗的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备。背景技术:请参阅图1所示,为传统挡液板结构的整体设置示意图,其中一实心pvc板态样的挡液板结构a设置于一湿式蚀刻机(图式未标示)内,主要用以阻挡一蚀刻药液(图式未标示)对设置于该挡液板结构a下方的基板(图式未标示)的喷溅而造成蚀刻不均匀的现象,并且在湿式蚀刻的制程步骤中,该基板设置于二风刀b之间,当该基板设置于一输送装置(图式未标示)而由该挡液板结构a的左方接受蚀刻药液蚀刻后移动至风刀b之间,该等风刀b再喷出一气体c到该基板的表面以将该基板表面残留的蚀刻药液吹除;然而,当在该等风刀b进行吹气的状态下,容易在该挡液板结构a下方形成微小的真空空间而形成涡流并造成真空吸板的问题;因此,如何有效借由创新的硬体设计,确实达到保有原始挡液板的挡液效果,以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险,仍是湿式蚀刻机等相关产业开发业者与相关研究人员需持续努力克服与解决的课题。蚀刻液的分类有哪些;成都京东方用的蚀刻液蚀刻液费用
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本发明涉及蚀刻液组合物及选择添加于该蚀刻液组合物的硅烷系偶联剂的方法。背景技术:参照图1,可以确认3dnand闪存(flashmemory)制造工序中的一部分。3dnand闪存可以通过在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)来制造。在不损伤氧化物膜的同时将氮化物膜完全去除是这样的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技术之一。一般而言,氮化物膜去除工序中所使用的蚀刻液组合物利用具有防蚀能力的添加剂以获得在不损伤氧化物膜的同时*将氮化物膜完全去除的效果。但是,想要在不损伤氧化物膜的范围内将氮化物膜完全去除时,会使用防蚀能力强的添加剂,由此可能发生氮化物膜没有被完全去除的工序不良(参照图2)。此外,想要将氮化物膜完全去除时,会使用防蚀能力弱的添加剂,由此虽然氮化物膜被完全去除,但是可能发生对氧化物膜也造成损伤(damage)的工序不良(参照图3)。以往,为了在包含氧化物膜和氮化物膜的多层膜中*将氮化物膜选择性完全去除而选择具有适当水平的防蚀能力的添加剂时,按照添加剂的种类和浓度通过实验进行确认。没有这样的实验确认就选择添加剂实际上是不可能的。成都京东方用的蚀刻液蚀刻液费用