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    所述过滤器包括多个并列排布的子过滤器，所述道包括多个子管道，每一所述子管道与一子过滤器连通，且所述多个子管道与当前级腔室对应的存储箱连通。在一些实施例中，所述第二管道包括公共子管道及多个第二子管道，每一所述第二子管道与一子过滤器连通，每一所述第二子管道与所述公共子管道连通，所述公共子管道与所述下一级腔室连通。在一些实施例中，所述阀门开关设置在每一所述子管道上。在一些实施例中，所述阀门开关设置在每一所述第二子管道上。在一些实施例中，所述阀门开关设置在每一所述子管道及每一所述第二子管道上。在一些实施例中，所述第二管道包括多个第三子管道，每一所述第三子管道与一子过滤器连通，且每一所述第三子管道与所述下一级腔室连通。在一些实施例中，所述阀门开关设置在每一所述第三子管道上。本申请实施例还提供一种剥离液机台的工作方法，包括：将多级腔室顺序排列，按照处于剥离制程的剥离基板的传送方向逐级向剥离基板提供剥离液；将来自于当前级腔室经历剥离制程的剥离液收集和存储于当前级腔室相应的存储箱中，所述剥离液中夹杂有薄膜碎屑；使用当前级腔室相应的过滤器过滤来自当前级腔室的剥离液并将过滤后的剥离液传输至下一级腔室。友达光电用的哪家的剥离液？嘉兴京东方用的蚀刻液剥离液销售厂家

    所述的链胺为乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、异丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的任意一种或多种。技术方案中，所述的环胺为氨乙基哌嗪、羟乙基哌嗪、氨乙基吗啉中的任意一种或多种。技术方案中，所述的缓蚀剂为三唑类物质。的技术方案中，所述的缓蚀剂为苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑中的任意一种。技术方案中，所述的润湿剂含有羟基。技术方案中，所述的润湿剂为聚乙二醇、甘油中的任意一种。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：本发明中加入环胺与链胺，能够渗透、断开光刻胶分子间弱结合力，能够快速、有效地溶解光刻胶，而配方中加入润湿剂，能够有效地减少接触角，增强亲水性，使得剥离液亲水性良好，能快速高效地剥离溶解光刻胶。附图说明：图1为配方一和配方二的剥离液滴落在平面时两者的接触角对比图。图2为配方一和配方二的剥离液应用是光刻胶的残留量对比图。具体实施方式现有技术中的剥离液其水置换能力较差，容易造成面板边缘光刻胶残留，本申请经过大量的试验，创造性的发现，在剥离液中加入润湿剂，能够使固体物料(高世代面板)更易被水浸湿的物质，通过降低其表面张力或界面张力，使水能展开在固体物料。深圳京东方用的蚀刻液剥离液哪家剥离液的的性价比好。

    但现有的回收装置普遍存在如下问题：剥离废液利用水洗装置水洗过滤出光刻胶树脂成分，回收率低。为了解决这一问题，现有技术通常再向剥离废液中加入沉淀剂继续反应，而后沉淀过滤出光刻胶树脂成分，但所得到的光刻胶树脂成分品质不宜再用于光刻胶原料，只能用于其他要求较低的树脂需求场所。技术实现要素：本实用新型的目的是为了提供一种结构设置更为合理、使用方便可靠的光刻胶废剥离液回收装置，从根本上解决现有回收装置回收率低的问题，同时分级回收输出线性酚醛树脂成分，分级储存，以用于不同场合，物尽其用。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种光刻胶废剥离液回收装置，包括搅拌釜和与搅拌釜连通的过滤罐，搅拌釜顶部设有废剥离液投料口，其技术要点是：所述过滤罐的数量为两个，由一级过滤罐和二级过滤罐组成，所述一级过滤罐和二级过滤罐在垂直方向上位于搅拌釜下方，一级过滤罐和二级过滤罐的进料管路分别与搅拌釜底部连通，且进料管路上分别设有电磁阀，所述一级过滤罐的底部出液口连接有提升泵，所述提升泵的出料管路末端与搅拌釜顶部的循环料口连通，所述搅拌釜顶部另设有功能切换口。

    根据新思界产业研究中心发布的《2020-2024年中国剥离液行业市场供需现状及发展趋势预测报告》显示，剥离液属于湿电子化学品的重要品类，近几年受新能源、汽车电子等产业的快速发展，我国湿电子化学品市场规模持续扩增，2019年我国湿电子化学品市场规模达到100亿元左右，需求量约为138万吨。随着剥离液在半导体产业中的应用增长，剥离液产量以及市场规模随之扩大，2019年我国半导体用剥离液需求量约为，只占据湿电子化学品总需求量的。从竞争方面来看，当前全球剥离液的生产由湿电子化学品企业主导，主要集中在欧美、日韩以及中国，代表性企业有德国巴斯夫、德国汉高、美国霍尼韦尔、美国ATMI公司、美国空气化工产品公司、三菱化学、京都化工、住友化学、宇部兴产、关东化学，以及中国的江阴江化微、苏州瑞红、中国台湾联仕电子等企业。 剥离液可适用不同制程光刻胶的剥离；

    若所述过滤器被所述薄膜碎屑阻塞，则关闭连接被阻塞的所述过滤器的管道上的阀门开关；取出被阻塞的所述过滤器。在一些实施例中，所述若所述过滤器被所述薄膜碎屑阻塞，则关闭连接被阻塞的所述过滤器的管道上的阀门开关包括：若所述过滤器包括多个并列排布的子过滤器，则关闭连接被阻塞的所述子过滤器的管道上的阀门开关。本申请实施例还提供一种剥离液机台，包括：依次顺序排列的多级腔室、每一级所述腔室对应连接一存储箱；过滤器，所述过滤器的一端设置通过管道与当前级腔室对应的存储箱连接，所述过滤器的另一端通过第二管道与下一级腔室连接；其中，至少在所述管道或所述第二管道上设置有阀门开关开关。通过阀门开关控制连接每一级腔室的过滤器相互独立，从而在过滤器被阻塞时通过阀门开关将被堵塞的过滤器取下并不影响整体的剥离进程，提高生产效率。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的剥离液机台的种结构示意图。京东方用的哪家的剥离液？佛山哪家剥离液配方技术

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    本申请涉及半导体工艺技术领域，具体涉及一种剥离液机台及其工作方法。背景技术：剥离(lift-off)工艺通常用于薄膜晶体管(thinfilmtransistor)制程中的光罩缩减，lift-off先形成光阻并图案化，再在光阻上成膜，移除光阻的同时，沉积在光阻上的膜层也被剥离，从而完成膜层的图形化，通过该制程可以实现两次光刻合并为一次以达到光罩缩减的目的。现有技术中，由于光阻上沉积了薄膜(该薄膜材料可以为金属，ito(氧化铟锡)等用于制备tft的膜层)，在剥离光阻的同时薄膜碎屑被带入剥离液(stripper)中，大量的薄膜碎屑将会导致剥离液机台中的过滤器(filter)堵塞，从而导致机台无法使用，并且需要停止所有剥离液机台的工作，待将filter清理后再次启动，降低了生产效率。技术实现要素：本申请实施例提供一种剥离液机台及其工作方法，可以提高生产效率。本申请实施例提供一种剥离液机台，包括：依次顺序排列的多级腔室、每一级所述腔室对应连接一存储箱；过滤器，所述过滤器的一端设置通过管道与当前级腔室对应的存储箱连接，所述过滤器的另一端通过第二管道与下一级腔室连接；其中，至少在所述管道或所述第二管道上设置有阀门开关。在一些实施例中。嘉兴京东方用的蚀刻液剥离液销售厂家