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    降低待加工部件20如inp基晶圆的机械加工损伤。由于本发明实施例中采用光刻胶对托盘和待加工部件进行了固定，因此，对待加工部件的待加工表面进行抛光和减薄之后，还包括：对待加工部件进行清洗；采用特定溶液对光刻胶进行腐蚀，以将待加工部件与托盘分离。具体地，在完成抛光和减薄后，可以采用直链烷基苯磺酸盐溶剂对待加工部件20进行清洗，用di水冲洗干净，40℃的氮气吹干。之后，将清洗后的待加工部件20和托盘10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盘10自动分离，取出待加工部件20后清洗干净即可。本发明实施例提供的方法，还包括：在磁转子运行一段时间后，更换磁转子。如磁转子12工作1小时后，可以将磁转子12更换为新的磁转子，以使磁转子与待加工表面贴合紧密，避免了传统减薄工艺中由于转子形变误差造成的加工精度失真。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。对所公开的实施例的上述说明。哪家的减薄用清洗剂成本价比较低？宁波清洗效果好的减薄用清洗剂商家

    4.安装挂钩，5.吊环，6.支撑板，7.耐酸胶带，8.侧定位板，9.待加工玻璃板。具体实施方式下面结合附图，详细描述本实用新型的具体实施方案。如图1-3所示，超薄玻璃减薄蚀刻用安装定位装置，包括可拆卸地设置在蚀刻篮具1中用于在玻璃板装入时支撑玻璃板下部的且在玻璃板9安装后拆除的底部支撑块2、蚀刻篮具1中在对应于玻璃板上方可拆卸地设有支撑横梁3，支撑横梁3上对应于各个玻璃板的位置都设有安装挂钩4，安装挂钩4上设有吊环5，吊环5上设有支撑板6，支撑板6与待加工玻璃板间距为15-25mm。支撑板6设有供吊环5穿过的定位孔，支撑板6通过耐酸胶带7与玻璃板9连接，所述胶带7为粘度＞200g且在15％氢氟酸溶液中浸泡3小时以上不发生脱落的耐酸胶带7。耐酸胶带7一端贴于玻璃板一侧侧面另一端绕过支撑板6上部后贴于玻璃板另一侧面，且连接时使得支撑板6上安装孔在对应于玻璃板9的中轴线的位置处，蚀刻篮具1中在对应于玻璃板两侧位置分别设有侧定位板8，侧定位板8上设有用于定位玻璃板侧面的定位槽，玻璃蚀刻前插篮定位包括以下步骤：玻璃放入篮具前的准备动作，将玻璃板9与支撑板6通过耐酸胶带7连接，使用辅助治具，确保支撑板6固定孔在玻璃重心的对称中轴线上。南通清洗效果好的减薄用清洗剂供应专业减薄用清洗剂，为您解决生产中的涂层难题。

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